[实用新型]一种涂布机检测反馈光刻胶厚度的装置有效
| 申请号： | 202121812599.0 | 申请日： | 2021-08-04 |
| 公开（公告）号： | CN215338097U | 公开（公告）日： | 2021-12-28 |
| 发明（设计）人： | 林先展 | 申请（专利权）人： | 华映科技（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B5/06 | 分类号： | G01B5/06 |
| 代理公司： | 福州君诚知识产权代理有限公司 35211 | 代理人： | 戴雨君 |
| 地址： | 350000 福*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种涂布机检测反馈光刻胶厚度的装置，其包括承载座、顶针和高度检测器；所述承载座固定连接于涂布机的喷头旁，所述顶针的顶部通过弹簧与承载座的底部连接，顶针底部触碰至厚度不同的光刻胶厚度时，能够沿竖直方向做伸缩运动；所述高度检测器固定于承载座的顶部，高度检测器电连接至控制终端，高度检测器将检测到高度变化反馈至控制终端。本实用新型能够提高涂布机涂布光刻胶时的涂布速率和涂布光刻胶的膜厚的稳定性，摈弃光刻胶首检工艺的复杂性，提高机台的稼动率以及机台的稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 涂布机 检测 反馈 光刻 厚度 装置 | ||
【主权项】：
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