[实用新型]一种涂布机检测反馈光刻胶厚度的装置有效
| 申请号： | 202121812599.0 | 申请日： | 2021-08-04 |
| 公开（公告）号： | CN215338097U | 公开（公告）日： | 2021-12-28 |
| 发明（设计）人： | 林先展 | 申请（专利权）人： | 华映科技（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B5/06 | 分类号： | G01B5/06 |
| 代理公司： | 福州君诚知识产权代理有限公司 35211 | 代理人： | 戴雨君 |
| 地址： | 350000 福*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 涂布机 检测 反馈 光刻 厚度 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种涂布机检测反馈光刻胶厚度的装置，其特征在于：其包括承载座、顶针和高度检测器；所述承载座固定连接于涂布机的喷头旁，所述顶针的顶部通过弹簧与承载座的底部连接，顶针底部触碰至厚度不同的光刻胶厚度时，能够沿竖直方向做伸缩运动；所述高度检测器固定于承载座的顶部，高度检测器电连接至控制终端，高度检测器将检测到高度变化反馈至控制终端。
2.根据权利要求1所述的一种涂布机检测反馈光刻胶厚度的装置，其特征在于：所述顶针为金刚石材料成型。
3.根据权利要求1所述的一种涂布机检测反馈光刻胶厚度的装置，其特征在于：所述高度检测器为光电耦合传感器，光电耦合传感器检测端口朝上正对承载座底部。
4.根据权利要求1所述的一种涂布机检测反馈光刻胶厚度的装置，其特征在于：所述承载座底部固定有沿竖直方向设置的导向杆，所述顶针的顶部与导向杆滑动套接。
5.根据权利要求1所述的一种涂布机检测反馈光刻胶厚度的装置，其特征在于：所述顶针的顶部固定有限位块。
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