[实用新型]一种清洗机药槽清洗效率提升内循环装置有效

专利信息
申请号: 202121809480.8 申请日: 2021-08-04
公开(公告)号: CN215785304U 公开(公告)日: 2022-02-11
发明(设计)人: 项燕峰;顾宝强;陈波 申请(专利权)人: 高佳太阳能股份有限公司
主分类号: B08B3/08 分类号: B08B3/08;B08B3/14;B08B13/00
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 214000 江苏省无锡市*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 一种清洗机药槽清洗效率提升内循环装置,其包括用于清洗硅片的清洗机药液槽以及用于存储药液的药液腔,还包括进液管、三通阀、输液管、循环泵、过滤机构和球阀,所述药液槽一侧的中部贯穿连接有进液管,进液管上安装有三通阀,三通阀的一通位置处连接有输液管,输液管的一端连接循环泵的出液口,药液槽另一侧的中部贯穿连接有出液管,出液管的一端连接有回液管,回液管上安装有过滤机构,输液管以及回液管靠近循环泵位置处均安装有球阀,本实用新型结构新颖,构思巧妙,使得药液槽内上下层浓度均衡,提高清洗效果,同时减少生产的换水次数,提升设备本身的使用率,减少因换水而等待的时间,从而提高产量,且安装、拆卸、维修方便。
搜索关键词: 一种 清洗 机药槽 效率 提升 循环 装置
【主权项】:
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