[实用新型]一种清洗机药槽清洗效率提升内循环装置

权利要求书

1.一种清洗机药槽清洗效率提升内循环装置，包括用于清洗硅片的清洗机药液槽(1)以及用于存储药液的药液腔(2)，其特征在于：还包括进液管(3)、三通阀(4)、输液管(5)、循环泵(6)、出液管(7)、回液管(8)、过滤机构(9)和球阀(10)，所述药液槽(1)一侧的中部贯穿连接有进液管(3)，进液管(3)上安装有三通阀(4)，三通阀(4)的一通位置处连接有输液管(5)，输液管(5)的一端连接循环泵(6)的出液口，药液槽(1)另一侧的中部贯穿连接有出液管(7)，出液管(7)的一端连接有回液管(8)，回液管(8)上安装有过滤机构(9)，输液管(5)以及回液管(8)靠近循环泵(6)位置处均安装有球阀(10)。

2.根据权利要求1所述的一种清洗机药槽清洗效率提升内循环装置，其特征在于，所述三通阀(4)的另一通位置处与外部加液泵管连接。

3.根据权利要求1所述的一种清洗机药槽清洗效率提升内循环装置，其特征在于，所述过滤机构(9)包括箱体(11)、滤网(12)、限位块(13)、端盖(14)、把手(15)、竖杆(16)、横杆(17)和定位块(18)，箱体(11)的顶部安装有滤网(12)，箱体(11)对应滤网(12)的边缘处设置有限位块(13)，箱体(11)的顶端通过铰链安装有端盖(14)，端盖(14)一端的中部设置有把手(15)，滤网(12)的顶端对称设置有两个竖杆(16)，竖杆(16)的顶端设置有横杆(17)，端盖(14)对应横杆(17)位置处设置有定位块(18)。

4.根据权利要求3所述的一种清洗机药槽清洗效率提升内循环装置，其特征在于，所述定位块(18)对应横杆(17)位置处开设有凹槽。

5.根据权利要求3所述的一种清洗机药槽清洗效率提升内循环装置，其特征在于，所述端盖(14)与箱体(11)的连接处设置有密封垫圈。

6.根据权利要求1所述的一种清洗机药槽清洗效率提升内循环装置，其特征在于，所述回液管(8)的一端与循环泵(6)的进液口连接。