[实用新型]一种清洗机药槽清洗效率提升内循环装置

说明书

一种清洗机药槽清洗效率提升内循环装置，其包括用于清洗硅片的清洗机药液槽以及用于存储药液的药液腔，还包括进液管、三通阀、输液管、循环泵、过滤机构和球阀，所述药液槽一侧的中部贯穿连接有进液管，进液管上安装有三通阀，三通阀的一通位置处连接有输液管，输液管的一端连接循环泵的出液口，药液槽另一侧的中部贯穿连接有出液管，出液管的一端连接有回液管，回液管上安装有过滤机构，输液管以及回液管靠近循环泵位置处均安装有球阀，本实用新型结构新颖，构思巧妙，使得药液槽内上下层浓度均衡，提高清洗效果，同时减少生产的换水次数，提升设备本身的使用率，减少因换水而等待的时间，从而提高产量，且安装、拆卸、维修方便。

技术领域

本实用新型涉及内循环装置，具体为一种清洗机药槽清洗效率提升内循环装置。

背景技术

在半导体器件的制造过程中，硅片表面的清洁非常重要，这是由于硅片表面的任何污染物都可能会不良地影响所制备的器件的品质。

现在硅片清洗机的液槽单槽内上下层浓度不均衡，生产每6万片换水后都会先走2组空框，每天换水在2次左右，每次从上料刀下料总耗时1个小时左右，影响生产效率。

实用新型内容

针对上述情况，为克服现有技术的缺陷，本实用新型提供一种清洗机药槽清洗效率提升内循环装置，有效的解决了现在硅片清洗机的液槽单槽内上下层浓度不均衡，生产每6万片换水后都会先走2组空框，每天换水在2次左右，每次从上料刀下料总耗时1个小时左右，影响生产效率的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：本实用新型包括用于清洗硅片的清洗机药液槽以及用于存储药液的药液腔，还包括进液管、三通阀、输液管、循环泵、出液管、回液管、过滤机构和球阀，所述药液槽一侧的中部贯穿连接有进液管，进液管上安装有三通阀，三通阀的一通位置处连接有输液管，输液管的一端连接循环泵的出液口，药液槽另一侧的中部贯穿连接有出液管，出液管的一端连接有回液管，回液管上安装有过滤机构，输液管以及回液管靠近循环泵位置处均安装有球阀。

优选的，所述三通阀的另一通位置处与外部加液泵管连接。

优选的，所述过滤机构包括箱体、滤网、限位块、端盖、把手、竖杆、横杆和定位块，箱体的顶部安装有滤网，箱体对应滤网的边缘处设置有限位块，箱体的顶端通过铰链安装有端盖，端盖一端的中部设置有把手，滤网的顶端对称设置有两个竖杆，竖杆的顶端设置有横杆，端盖对应横杆位置处设置有定位块。

优选的，所述定位块对应横杆位置处开设有凹槽。

优选的，所述端盖与箱体的连接处设置有密封垫圈。

优选的，所述回液管的一端与循环泵的进液口连接。

有益效果：本实用新型使用时，将进液管上安装的三通阀转动至与输液管连通，此时，循环泵工作，循环泵工作通过出液管将药液槽内药液腔中的药液抽出，经回液管及过滤机构过滤后，再经循环泵的出液口排出，经输液管和进液管流回药液腔的内部，使得药液槽内药液腔中的药液处于循环的状态，从而使得药液槽内药液腔中的药液上下层浓度均衡性更好，使用时，回液管内的回流液经过箱体时，通过箱体内安装的滤网可对经过的循环药液进行过滤，在过滤一端时间后，滤网上污物较多时，通过把手将端盖掀起，此时横杆由定位块内脱离，通过横杆与竖杆即可将滤网取出，即可将滤网上的污物去除或清洗掉，清洗完成后，将滤网重新放置在限位块上方，将端盖复位，复位时，端盖上的定位块卡接在横杆上，可对滤网进行定位，便于滤网的污物清理，设置的两个球阀，便于进行停机检修，本实用新型结构新颖，构思巧妙，使得药液槽内上下层浓度均衡，提高清洗效果，同时减少生产的换水次数，提升设备本身的使用率，减少因换水而等待的时间，从而提高产量，且安装、拆卸、维修方便。

附图说明

附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。在附图中：