[实用新型]一种缓冲式加热装置有效
| 申请号： | 202121782316.2 | 申请日： | 2021-08-02 |
| 公开（公告）号： | CN215261081U | 公开（公告）日： | 2021-12-21 |
| 发明（设计）人： | 唐兴友 | 申请（专利权）人： | 四川科尔威光电科技有限公司 |
| 主分类号： | F26B23/00 | 分类号： | F26B23/00;H01L21/67;G03F7/38;G03F7/40;F16F15/02 |
| 代理公司： | 成都市鼎宏恒业知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 51248 | 代理人： | 罗超 |
| 地址： | 610000 四川省成都市高新*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种缓冲式加热装置，包括：瓦楞状加热板，所述瓦楞状加热板上设有至少一个热量缓冲槽，每一所述热量缓冲槽的两侧均设有对待加热基片起支撑作用的支撑台；加热外壳，所述瓦楞状加热板设于所述加热外壳的顶部；多个加热丝，所述多个加热丝设于所述加热外壳内并在所述加热外壳内均匀分布。本发明采用特殊的瓦楞状加热板的形状设计，提高了产品受热时的均匀性，并通过热量缓冲槽达到了缓冲温度的作用，既能确保光刻胶内部稀释剂充分挥发，又能避免温度过快上升，造成稀释剂快速冲出片子表面的光刻胶，进而形成大量密集的气泡、凹坑的问题，让光刻胶的稀释剂有充足时间挥发，减少气泡、凹坑缺陷，保证烘干效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 缓冲 加热 装置 | ||
【主权项】：
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