[实用新型]一种缓冲式加热装置有效
| 申请号： | 202121782316.2 | 申请日： | 2021-08-02 |
| 公开（公告）号： | CN215261081U | 公开（公告）日： | 2021-12-21 |
| 发明（设计）人： | 唐兴友 | 申请（专利权）人： | 四川科尔威光电科技有限公司 |
| 主分类号： | F26B23/00 | 分类号： | F26B23/00;H01L21/67;G03F7/38;G03F7/40;F16F15/02 |
| 代理公司： | 成都市鼎宏恒业知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 51248 | 代理人： | 罗超 |
| 地址： | 610000 四川省成都市高新*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 缓冲 加热 装置 | ||
1.一种缓冲式加热装置，其特征在于，包括：
瓦楞状加热板，所述瓦楞状加热板上设有至少一个热量缓冲槽，每一所述热量缓冲槽的两侧均设有对待加热基片起支撑作用的支撑台；
加热外壳，所述瓦楞状加热板设于所述加热外壳的顶部；
多个加热丝，所述多个加热丝设于所述加热外壳内并在所述加热外壳内均匀分布。
2.根据权利要求1所述的缓冲式加热装置，其特征在于：所述热量缓冲槽设有多个，相邻两个所述热量缓冲槽之间的间隔相等，所述间隔内设有所述的支撑台。
3.根据权利要求2所述的缓冲式加热装置，其特征在于：所述热量缓冲槽的最大宽度为20-24mm，所述热量缓冲槽的深度为6-10mm，所述支撑台的顶部宽度为3-7mm。
4.根据权利要求3所述的缓冲式加热装置，其特征在于：所述热量缓冲槽的最大宽度为22mm，所述热量缓冲槽的深度为8.71mm，所述支撑台的顶部宽度为5mm。
5.根据权利要求1所述的缓冲式加热装置，其特征在于：所述待加热基片的尺寸为2-4inch。
6.根据权利要求1所述的缓冲式加热装置，其特征在于：所述热量缓冲槽的截面为弧形、矩形或是梯形，所述热量缓冲槽的底部距离所述加热外壳的顶部之间的距离为10-13mm。
7.根据权利要求1所述的缓冲式加热装置，其特征在于：相邻的两个所述加热丝之间的距离为20-24mm。
8.根据权利要求1所述的缓冲式加热装置，其特征在于：所述瓦楞状加热板为铝合金材质。
9.根据权利要求1所述的缓冲式加热装置，其特征在于：所述瓦楞状加热板的侧壁上设有防烫伤护栏。
10.根据权利要求1所述的缓冲式加热装置，其特征在于：所述加热外壳的底部设有承载垫脚。
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