[实用新型]一种晶圆轮廓测量仪有效
| 申请号： | 202121779477.6 | 申请日： | 2021-08-02 |
| 公开（公告）号： | CN215447789U | 公开（公告）日： | 2022-01-07 |
| 发明（设计）人： | 陈海龙 | 申请（专利权）人： | 芯茂（嘉兴）半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24;G01B11/06;G01B11/22;G01B11/26;B25B11/00 |
| 代理公司： | 浙江永航联科专利代理有限公司 33304 | 代理人： | 林文豪 |
| 地址： | 314100 浙江省嘉兴市嘉善县罗星*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及晶圆检测技术领域，本实用新型公开了一种晶圆轮廓测量仪，包括：壳体，所述壳体内部设有检测腔体；承载装置，所述承载装置包括载板，所述载板的一侧延伸至所述检测腔体内，所述载板在靠近检测腔体的一侧设有检测缺口，晶圆放置于所述载板表面且所述晶圆延伸至所述检测缺口的外侧；检测装置，设置于所述检测腔体内，所述检测装置包括设置于所述检测缺口上方的第一相机和设置于所述检测缺口一侧的第二相机。本技术方案通过在检测腔体内采用第一相机和第二相机对晶圆进行图像提取采集，检测效率大大提升，并且通过保护罩的设置可以降低外界光照对检测的影响，大大提高检测精确度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 轮廓 测量仪 | ||
【主权项】：
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