[实用新型]一种晶圆轮廓测量仪

权利要求书

1.一种晶圆轮廓测量仪，其特征在于，包括：

壳体(10)，所述壳体(10)内部设有检测腔体(10a)；

承载装置(20)，所述承载装置(20)包括载板(20a)，所述载板(20a)的一侧延伸至所述检测腔体(10a)内，所述载板(20a)在靠近检测腔体(10a)的一侧设有检测缺口(20b)，晶圆(30)放置于所述载板(20a)表面且所述晶圆(30)延伸至所述检测缺口(20b)的外侧；

检测装置(40)，设置于所述检测腔体(10a)内，所述检测装置(40)包括设置于所述检测缺口(20b)上方的第一相机(40a)和设置于所述检测缺口(20b)一侧的第二相机(40b)。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆轮廓测量仪，其特征在于：所述检测腔体(10a)外部还设有保护罩(50)，所述保护罩(50)与所述壳体(10)可拆卸连接。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆轮廓测量仪，其特征在于：所述载板(20a)表面在靠近检测缺口(20b)的一侧还设有限位机构，所述限位机构包括至少一组限位组件(20c)，所述限位组件(20c)包括两个对称设置于所述载板(20a)表面的限位孔(20c1)所述限位孔(20c1)内放置有导柱(20c2)；

所述载板(20a)的表面开设有滑动槽(20d)，所述滑动槽(20d)内转动设置有压紧轮(20e)，所述压紧轮(20e)的外部包覆有橡胶套(20f)，所述压紧轮(20e)可向检测缺口(20b)方向靠近或远离。

4.根据权利要求3所述的一种晶圆轮廓测量仪，其特征在于，所述导柱(20c2)包括：

固定轴(20c21)，所述固定轴(20c21)放置于所述限位孔(20c1)内；

转动杆(20c22)，所述转动杆(20c22)套设于所述固定轴(20c21)外部。

5.根据权利要求4所述的一种晶圆轮廓测量仪，其特征在于，所述载板(20a)下端还设有滑动机构(60)，所述滑动机构(60)包括：

固定架(60a)，设置于所述载板(20a)下方；

滑动块(60b)，滑动设置于所述固定架(60a)的内部；

滑动组件(60c)，包括连接块(60c1)以及固定于所述连接块(60c1)上端的滑动板(60c2)，所述滑动板(60c2)可在所述固定架(60a)表面滑动，所述压紧轮(20e)通过连接轴(20g)固定于所述滑动板(60c2)的上方；

发条弹簧(60d)，所述发条弹簧(60d)的一端与所述滑动块(60b)相连接，所述发条弹簧(60d)的另一端与安装轴(60e)相连接，所述安装轴(60e)位于所述载板(20a)下方靠近检测缺口(20b)的一侧。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆轮廓测量仪，其特征在于：所述检测缺口(20b)的下方还设有第一光源(40c)，所述第一相机(40a)与所述第一光源(40c)相对应，所述第一光源(40c)位于所述检测腔体(10a)内。

7.根据权利要求1所述的一种晶圆轮廓测量仪，其特征在于：所述检测缺口(20b)的另一侧还设有第二光源(40d)，所述第二相机(40b)与所述第二光源(40d)相对应设置，所述第二光源(40d)位于所述检测腔体(10a)内。

8.根据权利要求6所述的一种晶圆轮廓测量仪，其特征在于：所述第一相机(40a)与XZ双轴滑台(40e)相连接，所述XZ双轴滑台(40e)位于所述检测腔体(10a)内。

9.根据权利要求7所述的一种晶圆轮廓测量仪，其特征在于：所述第二相机(40b)的下端连接有XY双轴滑台一(40f)，所述XY双轴滑台一(40f)位于所述检测腔体(10a)内。

10.根据权利要求7所述的一种晶圆轮廓测量仪，其特征在于：所述第二光源(40d)的一侧连接有XY双轴滑台二(40g)，所述XY双轴滑台二(40g)位于所述检测腔体(10a)内。