[实用新型]一种用于原子层沉积装置的管路连接装置

摘要

本实用新型提供了一种用于原子层沉积装置的管路连接装置，包括沉积反应筒，所述沉积反应筒内设置有匀气环，匀气环的两端贯通连接有连接装置，且连接装置穿过沉积反应筒后并与同一个前驱体源输入管的两端相连接；所述连接装置包括第一连接管和第二连接管，第一连接管与前驱体源输入管贯通连接，第二连接管与匀气环贯通连接，第一连接管和第二连接管均开设有相互对应的阶梯状坡口。本实用新型克服了现有技术的不足，设计合理，结构紧凑，通过采用可拆卸的连接装置，能够方便匀气环与前驱体源输入管的连接，同时由于第一连接管和第二连接管方便连接和拆除，当料架较大时，可以快速拆装，同时也方便清理。