[实用新型]一种用于原子层沉积装置的管路连接装置

说明书

本实用新型提供了一种用于原子层沉积装置的管路连接装置，包括沉积反应筒，所述沉积反应筒内设置有匀气环，匀气环的两端贯通连接有连接装置，且连接装置穿过沉积反应筒后并与同一个前驱体源输入管的两端相连接；所述连接装置包括第一连接管和第二连接管，第一连接管与前驱体源输入管贯通连接，第二连接管与匀气环贯通连接，第一连接管和第二连接管均开设有相互对应的阶梯状坡口。本实用新型克服了现有技术的不足，设计合理，结构紧凑，通过采用可拆卸的连接装置，能够方便匀气环与前驱体源输入管的连接，同时由于第一连接管和第二连接管方便连接和拆除，当料架较大时，可以快速拆装，同时也方便清理。

技术领域

本实用新型涉及原子层沉积装置设备技术领域，具体涉及一种用于原子层沉积装置的管路连接装置。

背景技术

银饰品是一种以金属银打造的饰品，质地光滑，富有色泽。但银饰品在保存中容易氧化导致变色甚至发黑。而用电镀、无机钝化膜、有机钝化膜等常规处理方法会破坏银饰品的色泽，也存在污染问题。原子层沉积是一种可以实现将物质以单原子膜形式一层一层的镀在基底表面的方法。

现有的沉积装置，前驱体源喷射管都是固定在壳体上的，一来不方便料架的放入，二来也不方便清理。

为此，我们提出一种用于原子层沉积装置的管路连接装置。

实用新型内容

本实用新型的目的在于解决或者至少缓解现有技术中存在的问题。

为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：

一种用于原子层沉积装置的管路连接装置，包括沉积反应筒，所述沉积反应筒内设置有匀气环，匀气环的两端贯通连接有连接装置，且连接装置穿过沉积反应筒后并与同一个前驱体源输入管的两端相连接；

所述连接装置包括第一连接管和第二连接管，第一连接管与前驱体源输入管贯通连接，第二连接管与匀气环贯通连接，第一连接管和第二连接管均开设有相互对应的阶梯状坡口，且第一连接管和第二连接管通过相对应的阶梯状坡口能够形成密封管道，第一连接管和第二连接管通过扣件和螺丝相互固定。

可选地，所述沉积反应筒上还盖设有用于密封的顶盖。

可选地，所述匀气环的内侧环设有多排对银饰品喷射前驱体源的喷射孔。

可选地，所述第一连接管上的阶梯状坡口方向朝上，且第二连接管上的阶梯状坡口方向朝下。

可选地，所述连接装置与沉积反应筒的连接处设置有密封圈。

可选地，所述第一连接管和前驱体源输入管焊接成型，且第二连接管和匀气环一体成型。

本实用新型实施例提供了一种用于原子层沉积装置的管路连接装置。具备以下有益效果：

1、通过采用可拆卸的连接装置，能够方便匀气环与前驱体源输入管的连接，同时由于第一连接管和第二连接管方便连接和拆除，当料架较大时，可以快速拆装，同时也方便清理。

附图说明

图1为本实用新型剖视结构示意图；

图2为本实用新型立体结构及其爆炸示意图。

图中：沉积反应筒1、顶盖11、前驱体源输入管2、匀气环3、连接装置4、第一连接管41、第二连接管42、扣件43。

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。