[实用新型]一种用于原子层沉积装置的管路连接装置

权利要求书

1.一种用于原子层沉积装置的管路连接装置，包括沉积反应筒，其特征在于：所述沉积反应筒内设置有匀气环，匀气环的两端贯通连接有连接装置，且连接装置穿过沉积反应筒后并与同一个前驱体源输入管的两端相连接；

所述连接装置包括第一连接管和第二连接管，第一连接管与前驱体源输入管贯通连接，第二连接管与匀气环贯通连接，第一连接管和第二连接管均开设有相互对应的阶梯状坡口，且第一连接管和第二连接管通过相对应的阶梯状坡口能够形成密封管道，第一连接管和第二连接管通过扣件和螺丝相互固定。

2.如权利要求1所述的一种用于原子层沉积装置的管路连接装置，其特征在于：所述沉积反应筒上还盖设有用于密封的顶盖。

3.如权利要求1所述的一种用于原子层沉积装置的管路连接装置，其特征在于：所述匀气环的内侧环设有多排对银饰品喷射前驱体源的喷射孔。

4.如权利要求1所述的一种用于原子层沉积装置的管路连接装置，其特征在于：所述第一连接管上的阶梯状坡口方向朝上，且第二连接管上的阶梯状坡口方向朝下。

5.如权利要求1所述的一种用于原子层沉积装置的管路连接装置，其特征在于：所述连接装置与沉积反应筒的连接处设置有密封圈。

6.如权利要求1所述的一种用于原子层沉积装置的管路连接装置，其特征在于：所述第一连接管和前驱体源输入管焊接成型，且第二连接管和匀气环一体成型。