[实用新型]一种自动化设备

摘要

本实用新型提供一种自动化设备，包括工艺腔、工艺电源柜、真空机组、系统柜、配电柜、操作柜以及桥架。其中，系统柜和工艺电源柜分别设置在真空机组左右两侧，操作柜与工艺电源柜位于真空机组同一侧，而工艺腔和配电柜真空机组的前后两侧。工艺腔、工艺电源柜、真空机组、系统柜、配电柜、以及操作柜之间通过线管连接工作。最后，再将桥架围绕真空机组设置，桥架用于承载线管。通过将系统各部分进行合理的规划，再利用桥架合理地排布及收纳各管路的连接，使得该自动化设备能大大减少占地面积进而便于搬运，且各部分之间的连接简单美观，大大提高设备的安全性能。