[实用新型]一种自动化设备

权利要求书

1.一种自动化设备，其特征在于，包括：工艺腔、真空机组、工艺电源柜、系统柜、配电柜、操作柜及桥架，所述系统柜与所述工艺电源柜分别设于所述真空机组的左右两侧，所述操作柜与所述工艺电源柜位于所述真空机组的同侧，所述工艺腔及所述配电柜分别设于所述真空机组的前后两侧，所述工艺腔、真空机组、工艺电源柜、系统柜、配电柜及操作柜之间通过线管连接；

所述桥架围绕所述真空机组设置，所述桥架用于承载所述线管。

2.根据权利要求1所述的自动化设备，其特征在于，所述系统柜内装有冷却系统以及气控系统；所述冷却系统通过冷却管路与所述工艺腔连接，用于对所述工艺腔冷却，所述气控系统通过气管与所述工艺腔相连接。

3.根据权利要求2所述的自动化设备，其特征在于，所述配电柜包括强电控制电源柜和弱电控制电源柜，所述强电控制电源柜设于所述工艺电源柜的前侧，所述弱电控制电源柜设于所述系统柜的前侧；所述强电控制电源柜与所述工艺电源柜以及所述真空机组电连接；所述弱电控制电源柜与所述冷却系统以及所述气控系统电连接。

4.根据权利要求3所述的自动化设备，其特征在于，所述弱电控制电源柜的柜体开设有进水口和出水口，所述冷却系统通过进水管与所述进水口连通，所述冷却系统通过出水管与所述出水口连通。

5.根据权利要求3所述的自动化设备，其特征在于，所述系统柜、所述弱电控制电源柜、所述强电控制电源柜以及所述工艺电源柜的柜体上均设置有散热口。

6.根据权利要求1所述的自动化设备，其特征在于，所述桥架靠近所述工艺电源柜、所述系统柜、所述配电柜以及所述操作柜的顶部设置。

7.根据权利要求1所述的自动化设备，其特征在于，所述工艺腔为真空镀膜腔。

8.根据权利要求1所述的自动化设备，其特征在于，所述真空机组为多台，多台真空机组并列设置。

9.根据权利要求1所述的自动化设备，其特征在于，所述工艺电源柜为多个，并列排布于所述真空机组的一侧。

10.根据权利要求3所述的自动化设备，其特征在于，所述强电控制电源柜与所述弱电控制电源柜之间设置有通道，所述通道使所述真空机组与外界连通。