[实用新型]一种自动化设备

说明书

本实用新型提供一种自动化设备，包括工艺腔、工艺电源柜、真空机组、系统柜、配电柜、操作柜以及桥架。其中，系统柜和工艺电源柜分别设置在真空机组左右两侧，操作柜与工艺电源柜位于真空机组同一侧，而工艺腔和配电柜真空机组的前后两侧。工艺腔、工艺电源柜、真空机组、系统柜、配电柜、以及操作柜之间通过线管连接工作。最后，再将桥架围绕真空机组设置，桥架用于承载线管。通过将系统各部分进行合理的规划，再利用桥架合理地排布及收纳各管路的连接，使得该自动化设备能大大减少占地面积进而便于搬运，且各部分之间的连接简单美观，大大提高设备的安全性能。

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜领域，特别涉及一种自动化设备。

背景技术

真空镀膜主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜工艺，可以包括真空离子蒸发、磁控溅射、MBE分子束外延及PLD激光溅射沉积等多种形式。目前在实际应用中，真空镀膜主要可以分为蒸发镀膜和溅射镀膜。

真空镀膜设备是制作真空条件应用最为广泛的真空设备。真空镀膜设备一般包括工艺腔室、真空机组，还包括水气路机组和电路机组等辅助系统。在传统设备中，由于整个设备所涉及的辅助系统较多，设备的管路较多，布设较为复杂，并容易导致设备体积过大，不便于维修和搬运。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种自动化设备，以解决现有技术中的真空镀膜设备涉及的较多的辅助系统，设备的管路较多，布设较为复杂，并容易导致设备体积过大，不便于维修和搬运的问题。

为解决上述技术问题，本实用新型采用如下技术方案：

一种自动化设备，其特征在于，包括：工艺腔、真空机组、工艺电源柜、系统柜、配电柜、操作柜及桥架，所述系统柜与所述工艺电源柜分别设于所述真空机组的左右两侧，所述操作柜与所述工艺柜位于所述真空机组的同侧，所述工艺腔及所述配电柜分别设于所述真空机组的前后两侧，所述工艺腔、真空机组、工艺电源柜、系统柜、配电柜及操作柜之间通过线管连接；

所述桥架围绕所述真空机组设置，所述桥架用于承载所述线管。

可选地，所述系统柜内装有冷却系统以及气控系统；所述冷却系统通过冷却管路与所述工艺腔连接，用于对所述工艺腔冷却，所述气控系统通过气管与所述工艺腔相连接。

可选地，所述配电柜包括强电控制电源柜和弱电控制电源柜，所述强电控制电源柜设于所述工艺电源柜的前侧，所述弱电电源柜设于所述系统柜的前侧；所述强电控制电源柜与所述工艺电源柜以及所述真空机组电连接；所述弱电控制电源柜与所述冷却系统以及所述气控系统电连接。

可选地，所述弱电控制电源柜的柜体开设有设有进水口和出水口，所述冷却系统通过进水管与所述进水口连通，所述冷却系统通过出水管与所述出水口连通。

可选地，所述系统柜、所述弱电控制电源柜、所述强电控制电源柜以及所述工艺电源柜的柜体上均设置有散热口。

可选地，所述桥架靠近所述工艺电源柜、所述系统柜、所述配电柜以及所述操作柜的顶部设置。

可选地，所述工艺腔为真空镀膜腔。

可选地，所述真空机组为多台，多台真空机组并列设置。

可选地，所述工艺电源柜可以为多个，并列排布于所述真空机组的一侧。

可选地，所述强电控制电源柜与所述弱电控制电源柜之间设置有通道，所述通道使所述真空机组与外界连通。

由上述技术方案可知，本实用新型实施例至少具有如下优点和积极效果：