[实用新型]石墨烯冷壁生长装置有效
| 申请号： | 202121673706.6 | 申请日： | 2021-07-22 |
| 公开（公告）号： | CN215161040U | 公开（公告）日： | 2021-12-14 |
| 发明（设计）人： | 张锦;许世臣;沈超;姬楠楠;陈卓 | 申请（专利权）人： | 北京石墨烯研究院;北京大学 |
| 主分类号： | C01B32/186 | 分类号： | C01B32/186;C23C16/26;C23C16/517 |
| 代理公司： | 北京律智知识产权代理有限公司 11438 | 代理人： | 王辉;阚梓瑄 |
| 地址： | 100095 北京市海淀区苏家*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本公开提供了一种石墨烯冷壁生长装置，涉及石墨烯技术领域。该石墨烯冷壁生长装置包括：反应腔室，所述反应腔室设置有两个通孔；支架，所述支架由两个侧板和一个底座组成，所述支架放置于所述反应腔室内；上电极板，所述上电极板放置于所述支架上；下电极板，所述下电极板放置于所述支架上；射频线圈，所述射频线圈与所述反应腔室连接；涡流线圈，所述涡流线圈与所述反应腔室连接；电源，所述电源两极的导线分别穿过所述反应腔室的两个通孔，所述电源两极分别与所述上电极板和所述下电极板相连接。本公开提供的石墨烯冷壁生长装置通过引入电场和涡流加热，可得到完全垂直于基底的竖直石墨烯，该装置结构简单、加热速度快、热效率高、成本低。 | ||
| 搜索关键词： | 石墨 烯冷壁 生长 装置 | ||
【主权项】：
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