[实用新型]一种晶圆吸取机构

摘要

本申请提供一种晶圆吸取机构，由上至下依次包括吸盘、连接座、真空罩、旋转组件以及升降杆。连接座固定安装，连接座为管状结构。吸盘内部为圆柱形的腔体，顶面加工有多个吸孔；底部同轴设有真空管；真空管下段开设有多个通孔；真空管穿设于连接座。真空罩具有贯穿孔，真空罩内部沿贯穿孔的周侧加工有环形腔体，真空罩对应环形腔体的周侧设有至少一个管接头。旋转组件包括旋转套，旋转套加工有连接孔，连接孔贯穿旋转套，真空管底部设有连接轴；旋转套与驱动电机相连，以实现旋转；升降杆同轴穿过连接孔，升降杆设于升降装置的推杆。可避免损坏晶圆，结构简单，吸盘可旋转同时还可升降便于晶圆的进料或出料。