[实用新型]一种晶圆吸取机构

权利要求书

1.一种晶圆吸取机构，其特征在于，由上至下依次包括吸盘（10）、连接座（20）、真空罩（30）、旋转组件（40）以及升降杆（50）；

连接座（20）固定安装，连接座（20）为管状结构，轴线沿竖直方向设置；

吸盘（10）呈圆盘结构，吸盘（10）内部为圆柱形的腔体，吸盘（10）顶面加工有多个吸孔（101），吸孔（101）与吸盘（10）内部的腔体连通；底部同轴设有真空管（11），真空管（11）呈圆管结构，底部密封；真空管（11）下段开设有多个通孔（111），通孔（111）与真空管（11）内部以及吸盘（10）内部的腔体连通；真空管（11）穿设于连接座（20）；

真空罩（30）具有贯穿孔（301），用于穿设真空管（11），真空罩（30）内部沿贯穿孔（301）的周侧加工有环形腔体（302），环形腔体（302）与贯穿孔（301）连通，真空罩（30）对应环形腔体（302）的周侧设有至少一个管接头（31），用于和真空泵相连；

旋转组件（40）包括旋转套（41），旋转套（41）内部同轴加工有连接孔（411），连接孔（411）贯穿旋转套（41）的上下面，真空管（11）底部设有连接轴（112），连接轴（112）用于和连接孔（411）配合传递旋转力矩；旋转套（41）与驱动电机（42）相连，以实现旋转；

升降杆（50）同轴穿过连接孔（411），升降杆（50）设于升降装置（51）的推杆，升降杆（50）通过与连接轴（112）底面接触，从而控制吸盘（10）的升降。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆吸取机构，其特征在于，连接座（20）的顶部设有滚珠圈（21），滚珠圈（21）包括保持架（211）以及多颗滚珠（212），滚珠（212）沿圆周滚动设于保持架（211）内，真空管（11）中段外周设有圆盘（12），吸盘（10）旋转时，圆盘（12）的底面与滚珠（212）接触。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆吸取机构，其特征在于，连接孔（411）上段为花键孔结构，连接轴（112）为花键轴结构，连接孔（411）的下段为圆锥孔，升降杆（50）的直径小于花键孔及圆锥孔的最小内径，圆锥孔的大端位于连接孔（411）的底部；圆锥孔的小端内径小于花键孔的最小轮廓内径。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆吸取机构，其特征在于，吸盘（10）顶面由中心向外具有多圈环形槽（102），吸孔（101）均位于环形槽（102）的底部。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆吸取机构，其特征在于，旋转套（41）外周设有传动带（43），并通过传动带（43）与驱动电机（42）相连。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆吸取机构，其特征在于，真空管（11）与连接座（20）内壁之间设有钢珠套（22），钢珠套（22）的钢珠与真空管（11）的外壁以及连接座（20）内壁接触。