[实用新型]一种减小传感器温漂的波纹膜片

摘要

本实用新型的减小传感器温漂的波纹膜片，其特征在于：膜片上设置有波纹状的、宽度相等的同心圆环，且每个同心圆环由大到小并具有向外凸出的趋势，越靠里的圆环往外凸的趋势越大；膜片的边缘与传感器的基座相接，膜片与传感器基座之间形成一个密闭的腔体，密闭腔体内设置有感压芯片，密闭腔体内填充有硅油，用于压力传导的介质；膜片与基座之间的距离从外往内越往中心处越大，在膜片的中心处膜片与基座之间的距离达到最大值。受高低温影响后，膜片形变趋势为往外凸面变形，不会对充满油芯体内的芯片产生压力，从而改善传感器的温漂性能，采用此种波纹膜片后，提升了压力传感器的性能指标，对后部电路的要求大大降低。