[实用新型]一种减小传感器温漂的波纹膜片

说明书

本实用新型的减小传感器温漂的波纹膜片，其特征在于：膜片上设置有波纹状的、宽度相等的同心圆环，且每个同心圆环由大到小并具有向外凸出的趋势，越靠里的圆环往外凸的趋势越大；膜片的边缘与传感器的基座相接，膜片与传感器基座之间形成一个密闭的腔体，密闭腔体内设置有感压芯片，密闭腔体内填充有硅油，用于压力传导的介质；膜片与基座之间的距离从外往内越往中心处越大，在膜片的中心处膜片与基座之间的距离达到最大值。受高低温影响后，膜片形变趋势为往外凸面变形，不会对充满油芯体内的芯片产生压力，从而改善传感器的温漂性能，采用此种波纹膜片后，提升了压力传感器的性能指标，对后部电路的要求大大降低。

技术领域

本实用新型涉及一种传感器膜片，更具体的说，尤其涉及一种减小传感器温漂的波纹膜片。

背景技术

在传感器制造行业中，新技术不断发展，新结构新材料不断出现，传

感器的应用领域逐步拓宽。所以传感器的生产制造逐步走向规模化批量化，而温漂小、零位一致性好，对于客户的使用及变送器的研发起着决定性作用。

传统波纹膜片的压力传感器封装后，传感器温度系数受温度变化影响较大。由于受环境温度变化影响，硅油的膨胀系数大于金属腔体的膨胀系数，温度升高后，微观上看，腔体体积恒定，硅油体积增大，会在内部产生一个压力，压在感压芯片上，从而使芯片受力，产生压力变化，使测量的准确性降低，这就是温度影响产生的传感器零位漂移。造成后部电路对传感器的温度漂移补偿难度加大。

发明内容

本实用新型为了克服上述技术问题的缺点，提供了一种减小传感器温漂的波纹膜片。

本实用新型的减小传感器温漂的波纹膜片，其特征在于：膜片上设置有波纹状的、宽度相等的同心圆环，且每个同心圆环由大到小并具有向外凸出的趋势，越靠里的圆环往外凸的趋势越大；膜片的边缘与传感器的基座相接，膜片与传感器基座之间形成一个密闭的腔体，密闭腔体内设置有感压芯片，密闭腔体内填充有硅油，用于压力传导的介质；膜片与基座之间的距离从外往内越往中心处越大，在膜片的中心处膜片与基座之间的距离达到最大值。

所述的膜片设置为0.03mm厚的316L的D单一金属材质的不锈钢。

所述膜片设置为圆片。

所述的硅油的膨胀系数大于金属腔体的膨胀系数，温度升高后所述的膜片会发生的微观体积膨胀，膜片的外凸趋势，在膜片体积膨胀时可使膜片向外突出，从而增大腔体的体积，腔体体积增大即可抵消掉硅油体积的增大，从而消除内部的压力，使感压芯片上附加的力变小或者为零。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

（1）受高低温影响后，膜片形变趋势为往外凸面变形，不会对充满油芯体内的芯片产生压力，从而改善传感器的温漂性能。

（2）采用此种波纹膜片后，压力传感器的温度漂移改善明显，对传感器的心梗影响就会降低很多甚至没有影响，从而提升了压力传感器的性能指标，对后部电路的要求大大降低。

附图说明

图1为本实用新型的减小传感器温漂的波纹膜片的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图与实施例对本实用新型作进一步说明。

如图1所示，给出了本实用新型的减小传感器温漂的波纹膜片的结构示意图，所示的减小传感器温漂的波纹膜片，膜片上设置有波纹状的、宽度相等的同心圆环，且每个同心圆环由大到小并具有向外凸出的趋势，越靠里的圆环往外凸的趋势越大；膜片的边缘与传感器的基座相接，膜片与传感器基座之间形成一个密闭的腔体，密闭腔体内设置有感压芯片，密闭腔体内填充有硅油，用于压力传导的介质；膜片与基座之间的距离从外往内越往中心处越大，在膜片的中心处膜片与基座之间的距离达到最大值。