[实用新型]一种减小传感器温漂的波纹膜片

权利要求书

1.一种减小传感器温漂的波纹膜片，其特征在于：膜片上设置有波纹状的、宽度相等的同心圆环，且每个同心圆环由大到小并具有向外凸出的趋势，越靠里的圆环往外凸的趋势越大；膜片的边缘与传感器的基座相接，膜片与传感器基座之间形成一个密闭的腔体，密闭腔体内设置有感压芯片，密闭腔体内填充有硅油，用于压力传导的介质；膜片与基座之间的距离从外往内越往中心处越大，在膜片的中心处膜片与基座之间的距离达到最大值。

2.根据权利要求1所述的减小传感器温漂的波纹膜片，其特征在于：所述的膜片设置为0.03mm厚的316L的D单一金属材质的不锈钢。

3.根据权利要求1所述的减小传感器温漂的波纹膜片，其特征在于：所述的膜片设置为圆片。

4.根据权利要求1所述的减小传感器温漂的波纹膜片，其特征在于：所述的硅油的膨胀系数大于金属腔体的膨胀系数，温度升高后所述的膜片会发生的微观体积膨胀，膜片的外凸趋势，在膜片体积膨胀时可使膜片向外突出，从而增大腔体的体积，腔体体积增大即可抵消掉硅油体积的增大，从而消除内部的压力，使感压芯片上附加的力变小或者为零。