[实用新型]一种高压硅堆钝化处理用设备有效

专利信息
申请号: 202121629864.1 申请日: 2021-07-19
公开(公告)号: CN215008162U 公开(公告)日: 2021-12-03
发明(设计)人: 张曹朋 申请(专利权)人: 安徽弘电微电子有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;B08B3/02
代理公司: 合肥中博知信知识产权代理有限公司 34142 代理人: 管秋香
地址: 247000 安徽*** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 实用新型公开了一种高压硅堆钝化处理用设备,包括清洗箱和储液箱,所述储液箱的两侧均固定安装有液压缸,所述液压缸的输出杆固定连接有连接板,两个所述连接板之间固定连接有过滤板,所述过滤板的顶部设有调位夹紧机构,所述清洗箱远离储液箱的一侧设有清洗机构,所述清洗机构包括水箱、第二水泵和第二喷液管,所述储液箱的上方设有喷料机构,本实用新型可以对不同规格的工件进行夹紧,可对高压硅堆的表面喷液均匀,在对高压硅堆加工完成后,不用将过滤板拆卸就可对其清洗,省时省力,且保持了过滤板的过滤性,保证了过滤板对喷液的过滤效果,提高了高压硅堆的钝化效率。
搜索关键词: 一种 高压 钝化 处理 设备
【主权项】:
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