[实用新型]一种高压硅堆钝化处理用设备有效
| 申请号: | 202121629864.1 | 申请日: | 2021-07-19 |
| 公开(公告)号: | CN215008162U | 公开(公告)日: | 2021-12-03 |
| 发明(设计)人: | 张曹朋 | 申请(专利权)人: | 安徽弘电微电子有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;B08B3/02 |
| 代理公司: | 合肥中博知信知识产权代理有限公司 34142 | 代理人: | 管秋香 |
| 地址: | 247000 安徽*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 高压 钝化 处理 设备 | ||
1.一种高压硅堆钝化处理用设备,包括清洗箱(40)和储液箱(10),其特征在于:所述储液箱(10)的两侧均固定安装有液压缸(30),所述液压缸(30)的输出杆固定连接有连接板(31),两个所述连接板(31)之间固定连接有过滤板(32),所述过滤板(32)的顶部设有调位夹紧机构,所述清洗箱(40)远离储液箱(10)的一侧设有清洗机构,所述清洗机构包括水箱(50)、第二水泵(51)和第二喷液管(52),所述储液箱(10)的上方设有喷料机构。
2.根据权利要求1所述的一种高压硅堆钝化处理用设备,其特征在于:所述调位夹紧机构包括固定板(60)和电机(65),所述固定板(60)设有两个,两个所述固定板(60)相背的一侧均设有稳固板(66),两个所述固定板(60)相对的一侧均设有夹紧气缸(61),两个所述夹紧气缸(61)的表面均固定套接有保护套(611),所述夹紧气缸(61)的输出杆均固定连接有夹紧架(62),所述夹紧架(62)的顶部螺纹连接有螺纹杆(63),所述螺纹杆(63)的底端延伸至夹紧架(62)的内侧且固定连接有夹紧板(64),所述保护套(611)的表面固定连接有第一齿轮,所述电机(65)的输出轴固定连接有第二齿轮。
3.根据权利要求1所述的一种高压硅堆钝化处理用设备,其特征在于:所述喷料机构包括第一喷液管(21)和第一水泵(20),所述第一水泵(20)通过安装架固定安装于储液箱(10)远离清洗箱(40)的一侧,所述第一水泵(20)的输入端通过管道与储液箱(10)的内部连通,所述第一水泵(20)的输出端通过管道与第一喷液管(21)固定连接。
4.根据权利要求1所述的一种高压硅堆钝化处理用设备,其特征在于:所述过滤板(32)靠近储液箱(10)的一侧固定连接有卡块(321),所述卡块(321)设有两个,所述储液箱(10)顶部远离清洗箱(40)的一侧固定连接有与卡块(321)相对应的固定块(11),所述固定块(11)设有两个,所述固定块(11)靠近卡块(321)的一侧开设有卡槽(111)。
5.根据权利要求1所述的一种高压硅堆钝化处理用设备,其特征在于:所述储液箱(10)的顶部开设有第一箱口,所述清洗箱(40)的顶部开设有第二箱口。
6.根据权利要求1所述的一种高压硅堆钝化处理用设备,其特征在于:所述储液箱(10)顶部的两侧均开设有凹槽(101),所述储液箱(10)的顶部还设有箱盖。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





