[实用新型]一种高压硅堆钝化处理用设备有效

专利信息
申请号: 202121629864.1 申请日: 2021-07-19
公开(公告)号: CN215008162U 公开(公告)日: 2021-12-03
发明(设计)人: 张曹朋 申请(专利权)人: 安徽弘电微电子有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;B08B3/02
代理公司: 合肥中博知信知识产权代理有限公司 34142 代理人: 管秋香
地址: 247000 安徽*** 国省代码: 安徽;34
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摘要:
搜索关键词: 一种 高压 钝化 处理 设备
【权利要求书】:

1.一种高压硅堆钝化处理用设备,包括清洗箱(40)和储液箱(10),其特征在于:所述储液箱(10)的两侧均固定安装有液压缸(30),所述液压缸(30)的输出杆固定连接有连接板(31),两个所述连接板(31)之间固定连接有过滤板(32),所述过滤板(32)的顶部设有调位夹紧机构,所述清洗箱(40)远离储液箱(10)的一侧设有清洗机构,所述清洗机构包括水箱(50)、第二水泵(51)和第二喷液管(52),所述储液箱(10)的上方设有喷料机构。

2.根据权利要求1所述的一种高压硅堆钝化处理用设备,其特征在于:所述调位夹紧机构包括固定板(60)和电机(65),所述固定板(60)设有两个,两个所述固定板(60)相背的一侧均设有稳固板(66),两个所述固定板(60)相对的一侧均设有夹紧气缸(61),两个所述夹紧气缸(61)的表面均固定套接有保护套(611),所述夹紧气缸(61)的输出杆均固定连接有夹紧架(62),所述夹紧架(62)的顶部螺纹连接有螺纹杆(63),所述螺纹杆(63)的底端延伸至夹紧架(62)的内侧且固定连接有夹紧板(64),所述保护套(611)的表面固定连接有第一齿轮,所述电机(65)的输出轴固定连接有第二齿轮。

3.根据权利要求1所述的一种高压硅堆钝化处理用设备,其特征在于:所述喷料机构包括第一喷液管(21)和第一水泵(20),所述第一水泵(20)通过安装架固定安装于储液箱(10)远离清洗箱(40)的一侧,所述第一水泵(20)的输入端通过管道与储液箱(10)的内部连通,所述第一水泵(20)的输出端通过管道与第一喷液管(21)固定连接。

4.根据权利要求1所述的一种高压硅堆钝化处理用设备,其特征在于:所述过滤板(32)靠近储液箱(10)的一侧固定连接有卡块(321),所述卡块(321)设有两个,所述储液箱(10)顶部远离清洗箱(40)的一侧固定连接有与卡块(321)相对应的固定块(11),所述固定块(11)设有两个,所述固定块(11)靠近卡块(321)的一侧开设有卡槽(111)。

5.根据权利要求1所述的一种高压硅堆钝化处理用设备,其特征在于:所述储液箱(10)的顶部开设有第一箱口,所述清洗箱(40)的顶部开设有第二箱口。

6.根据权利要求1所述的一种高压硅堆钝化处理用设备,其特征在于:所述储液箱(10)顶部的两侧均开设有凹槽(101),所述储液箱(10)的顶部还设有箱盖。

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