[实用新型]一种半导体研磨抛光循环搅拌桶装置有效
| 申请号： | 202121620981.1 | 申请日： | 2021-07-16 |
| 公开（公告）号： | CN214923370U | 公开（公告）日： | 2021-11-30 |
| 发明（设计）人： | 杨柳;张高杰;李振飞 | 申请（专利权）人： | 东莞市柯林奥环保科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B31/10 | 分类号： | B24B31/10;B24B31/16;B24B31/12;B24B55/02 |
| 代理公司： | 绍兴上虞鸿鸣知识产权代理事务所(普通合伙) 33363 | 代理人： | 周佳磊 |
| 地址： | 523000 广东省东莞市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种半导体研磨抛光循环搅拌桶装置，包括搅拌桶本体，搅拌桶本体的顶端螺纹连接有顶盖，顶盖的顶端固定安装有电机，电机的输出端固定连接有延伸至搅拌桶本体内部的轴杆，轴杆的底端固定连接有连接轴，连接轴的外侧开设有若干个卡槽，本实用新型一种半导体研磨抛光循环搅拌桶装置，该装置通过桶底锥形设计和充气管设置的设置能够减少抛光液微粉颗粒在桶底的沉淀和方便了及时排污以及搅拌桶的清洁，可以通过循环管来将分离后的研磨抛光液能及时进入循环系统再次工作，通过电机驱动若干个搅拌叶转动来进行循环搅拌，对微粉颗粒进行研磨抛光，减少了金属颗粒对系统设备的损害和加工精度的破坏。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 研磨 抛光 循环 搅拌 桶装 | ||
【主权项】：
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