[实用新型]一种半导体研磨抛光循环搅拌桶装置

权利要求书

1.一种半导体研磨抛光循环搅拌桶装置，包括搅拌桶本体（1），其特征在于：所述搅拌桶本体（1）的顶端螺纹连接有顶盖（15），所述顶盖（15）的顶端固定安装有电机（16），所述电机（16）的输出端固定连接有延伸至搅拌桶本体（1）内部的轴杆（14），所述轴杆（14）的底端固定连接有连接轴（17），所述连接轴（17）的外侧开设有若干个卡槽（19），若干个所述卡槽（19）的内部均卡合连接有搅拌叶（13），所述搅拌桶本体（1）的内侧固定设置有冷却管路（4），所述搅拌桶本体（1）表面的两侧分别固定连通有冷却水进水管（2）、冷却水出水管（12）和充气管（10），所述搅拌桶本体（1）与冷却水进水管（2）的连接处、搅拌桶本体（1）与冷却水出水管（12）的连接处和搅拌桶本体（1）与充气管（10）的连接处分别固定安装有第一阀门（3）、第四阀门（11）和第三阀门（9），且所述冷却水进水管（2）和冷却水出水管（12）均与冷却管路（4）固定连通，所述搅拌桶本体（1）内壁的底端开设有冷却管路（4），所述冷却管路（4）的内部固定连通有循环管（8），所述循环管（8）的一侧固定连通有排放管（7），所述循环管（8）的中部固定安装有第二阀门（6）。

2.根据权利要求1所述的一种半导体研磨抛光循环搅拌桶装置，其特征在于：所述搅拌桶本体（1）与冷却水进水管（2）的连接处、搅拌桶本体（1）与冷却水出水管（12）的连接处、搅拌桶本体（1）与充气管（10）的连接处和排液口（5）与循环管（8）的连接处均固定设置有密封圈。

3.根据权利要求1所述的一种半导体研磨抛光循环搅拌桶装置，其特征在于：若干个所述搅拌叶（13）的顶部和底部均开设有限位槽（20），若干个所述限位槽（20）均螺纹连接有固定螺栓（18），若干个所述搅拌叶（13）通过固定螺栓（18）分别与若干个卡槽（19）固定连接。

4.根据权利要求1所述的一种半导体研磨抛光循环搅拌桶装置，其特征在于：所述搅拌桶本体（1）的底部为锥形。

5.根据权利要求1所述的一种半导体研磨抛光循环搅拌桶装置，其特征在于：若干个所述搅拌叶（13）位于搅拌桶本体（1）内部中心且与搅拌桶本体（1）的内壁保持垂直。

6.根据权利要求1所述的一种半导体研磨抛光循环搅拌桶装置，其特征在于：所述冷却水进水管（2）和第一阀门（3）分别设置在搅拌桶本体（1）表面顶部的两侧，所述充气管（10）设置在搅拌桶本体（1）表面的底部。