[实用新型]基于MEMS芯体的质量传感器的防过载结构

摘要

本实用新型提供一种基于MEMS芯体的质量传感器的防过载结构，包括形变部、承载部和MEMS传感器，形变部和承载部扣合形成有密封腔，密封腔用于填充液体；MEMS传感器与密封腔连通并检测液体压力变化；其中，形变部远离承载部的表面部分向外凸出形成受力部，当受力部承载压力，形变部向承载部一侧靠近至抵持时，形变部停止变形；通过密封腔的小腔体大面积式设计，能够充分的提高测量灵敏度，而通过向外突出的受力部来承载重力，以使得形变部的形变是以受力部为中心向四周逐渐扩散的，当形变部与承载部抵持时即可以形成第一级的防过载结构，而围合成密封腔的其它部分是紧密贴合并与受力部相距最远的，能够使得整个结构刚性非常高，并形成第二级的防过载结构。