[实用新型]惯性传感器有效
| 申请号： | 202121590829.3 | 申请日： | 2021-07-13 |
| 公开（公告）号： | CN215711766U | 公开（公告）日： | 2022-02-01 |
| 发明（设计）人： | 庄瑞芬;胡维;李刚 | 申请（专利权）人： | 苏州敏芯微电子技术股份有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/04 | 分类号： | B81B7/04;B81C1/00 |
| 代理公司： | 北京布瑞知识产权代理有限公司 11505 | 代理人： | 王海臣 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请提供了一种惯性传感器，解决了现有技术中批量生产的惯性传感器的性能均一性较差和电互联难度高的问题。其中，惯性传感器包括：可动元件，可动元件包括叠置的第一衬底和第一导电层，第一衬底的材料为单晶材料。 | ||
| 搜索关键词： | 惯性 传感器 | ||
【主权项】：
暂无信息
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