[实用新型]惯性传感器

权利要求书

1.一种惯性传感器，其特征在于，包括：可动元件，所述可动元件包括叠置的第一衬底和第一导电层，所述第一衬底的材料为单晶材料。

2.根据权利要求1所述的惯性传感器，其特征在于，还包括第二导电层，所述第二导电层位于所述第一导电层的背离所述第一衬底的一侧，所述第二导电层和所述第一导电层之间具有间隙。

3.根据权利要求2所述的惯性传感器，其特征在于，所述第一导电层和所述第二导电层的材料相同。

4.根据权利要求2所述的惯性传感器，其特征在于，所述第一导电层的朝向所述第二导电层的表面设置有止挡结构，所述止挡结构用于限制所述可动元件在垂直于所述第二导电层的方向上的位移。

5.根据权利要求4所述的惯性传感器，其特征在于，所述止挡结构在垂直于所述第二导电层的方向上的正投影落在所述第二导电层外。

6.根据权利要求4或5所述的惯性传感器，其特征在于，所述第一导电层的朝向所述第二导电层的表面设置有凸起，所述凸起形成所述止挡结构。

7.根据权利要求4所述的惯性传感器，其特征在于，所述止挡结构的表面具有防粘连层。

8.根据权利要求7所述的惯性传感器，其特征在于，所述防粘连层的材料包括氮化硅。

9.根据权利要求2所述的惯性传感器，其特征在于，所述第一导电层朝向所述第二导电层的表面设置有突出部；所述第二导电层包括可动元件锚点，所述突出部与所述可动元件锚点连接。

10.根据权利要求9所述的惯性传感器，其特征在于，所述第二导电层还包括两个固定电极，分别位于所述可动元件锚点的相对两侧。