[实用新型]一种低温物理气相沉积装置

摘要

本实用新型公开了一种低温物理气相沉积装置，包括底座、活动块、蒸镀箱、真空罩和空心块，底座顶端的两侧皆固定连接有立板，立板的顶端固定连接有顶板，立板底端一侧的中间位置活动连接有螺旋杆，螺旋杆的一侧安装有电机，活动块顶端的中间位置设置有放置台，活动块的顶端活动连接有蒸镀箱，顶板顶端的两侧皆固定连接有空心块，真空罩外部一侧的中间位置安装有控制面板。本实用新型通过在螺旋杆的外部活动连接的活动块，螺旋杆的转动可以使得活动块带动蒸镀箱在螺旋杆上移动，从而使蒸镀箱内部蒸发物气体可以任意调节工作位置，使得可以均匀的进行蒸发物沉积，且可以进行局部位置的蒸镀作业。