[实用新型]一种低温物理气相沉积装置

权利要求书

1.一种低温物理气相沉积装置，其特征在于：包括底座(1)、活动块(2)、蒸镀箱(3)、真空罩(5)和空心块(7)，所述底座(1)顶端的两侧皆固定连接有立板(104)，所述立板(104)的顶端固定连接有顶板(103)，所述立板(104)底端一侧的中间位置活动连接有螺旋杆(101)，所述螺旋杆(101)的一侧安装有电机(102)，所述立板(104)底端的两侧皆固定连接有导向杆(105)，所述螺旋杆(101)的外部活动连接有活动块(2)，所述活动块(2)顶端的中间位置设置有放置台(202)，所述活动块(2)的顶端活动连接有蒸镀箱(3)，所述顶板(103)顶端的两侧皆固定连接有空心块(7)，所述底座(1)的顶端活动连接有真空罩(5)，所述真空罩(5)外部一侧的中间位置安装有气泵(4)，所述气泵(4)的顶端固定连接有导管(401)，所述真空罩(5)外部一侧的中间位置安装有控制面板(6)。

2.根据权利要求1所述的一种低温物理气相沉积装置，其特征在于：所述活动块(2)内部的中间位置固定连接有螺旋套(201)，所述活动块(2)内部的顶端设置有放置槽(204)。

3.根据权利要求2所述的一种低温物理气相沉积装置，其特征在于：所述螺旋套(201)的内部设置有内螺纹，所述螺旋杆(101)的外部设置有与螺旋套(201)内螺纹匹配的外螺纹。

4.根据权利要求2所述的一种低温物理气相沉积装置，其特征在于：所述放置槽(204)的两侧皆设置有竖向槽(203)，所述竖向槽(203)底端的一侧设置有横向槽(205)。

5.根据权利要求1所述的一种低温物理气相沉积装置，其特征在于：所述蒸镀箱(3)的顶端固定连接有导流盘(301)，所述蒸镀箱(3)内部的两侧皆安装有电热丝(302)。

6.根据权利要求1所述的一种低温物理气相沉积装置，其特征在于：所述蒸镀箱(3)外部底端的两侧皆固定连接有固定块(303)，所述固定块(303)的外径大小与竖向槽(203)和横向槽(205)的内径大小相匹配。

7.根据权利要求1所述的一种低温物理气相沉积装置，其特征在于：所述空心块(7)内部的底端固定连接有弹簧(704)，所述弹簧(704)的顶端滑动连接有滑动块(701)。

8.根据权利要求7所述的一种低温物理气相沉积装置，其特征在于：所述滑动块(701)的底端固定连接有支杆(703)，所述支杆(703)底端的一侧固定连接有压板(702)。