[实用新型]一种物理气相沉积的升降机构有效
| 申请号： | 202121582736.6 | 申请日： | 2021-07-12 |
| 公开（公告）号： | CN215251156U | 公开（公告）日： | 2021-12-21 |
| 发明（设计）人： | 朱卫刚 | 申请（专利权）人： | 株洲科汇钛力新材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/50;C23C14/54;C23C14/22 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 肖宇扬 |
| 地址： | 412000 湖南省株洲市天*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种物理气相沉积的升降机构，包括气相沉积箱、伺服电机、转轴、安全门和靶材料，气相沉积箱的外壁上安装有安全门，安全门一侧的气相沉积箱内部安装有靶材料，靶材料下方的气相沉积箱内部安装有两组电磁场，电磁场下方的气相沉积箱内部设置有底座，且底座上方的气相沉积箱内部设有升降板，升降板的内部安装有上限位架，且上限位架下方的底座内部设有下限位架，下限位架一侧的底座顶端安装有主摆臂，且主摆臂的顶端延伸至上限位架的内部。本实用新型不仅实现了物理气相沉积的升降机构稳定的驱动，提高了升降机构运行时的稳定性，而且方便了物料进行快速的装夹固定。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 物理 沉积 升降 机构 | ||
【主权项】：
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