[实用新型]一种物理气相沉积的升降机构

权利要求书

1.一种物理气相沉积的升降机构，其特征在于：包括气相沉积箱(1)、伺服电机(2)、转轴(3)、安全门(6)和靶材料(16)，所述气相沉积箱(1)的外壁上安装有安全门(6)，所述安全门(6)一侧的气相沉积箱(1)内部安装有靶材料(16)，所述靶材料(16)下方的气相沉积箱(1)内部安装有两组电磁场(15)，所述电磁场(15)下方的气相沉积箱(1)内部设置有底座(8)，且底座(8)上方的气相沉积箱(1)内部设有升降板(12)，所述升降板(12)的内部安装有上限位架(17)，且上限位架(17)下方的底座(8)内部设有下限位架(18)，所述下限位架(18)一侧的底座(8)顶端安装有主摆臂(9)，且主摆臂(9)的顶端延伸至上限位架(17)的内部，所述主摆臂(9)的外壁上安装有铰接轴(10)，所述主摆臂(9)一侧的升降板(12)底端安装有辅摆臂(11)，所述主摆臂(9)的外壁上安装有横梁(22)，所述横梁(22)的外壁上安装有支撑架(21)，且支撑架(21)的外壁上安装有气缸(20)，所述气缸(20)的底端设有驱动杆(19)，安全门(6)的外壁上安装有控制面板(7)。

2.根据权利要求1所述的一种物理气相沉积的升降机构，其特征在于：所述安全门(6)上方的气相沉积箱(1)内部安装有螺纹杆(4)，所述螺纹杆(4)一侧的气相沉积箱(1)内部安装有伺服电机(2)，且伺服电机(2)的输出端通过联轴器安装有转轴(3)。

3.根据权利要求2所述的一种物理气相沉积的升降机构，其特征在于：所述螺纹杆(4)的表面套装有两组螺纹套(5)，且螺纹套(5)的底端与安全门(6)固定连接。

4.根据权利要求1所述的一种物理气相沉积的升降机构，其特征在于：所述升降板(12)的顶端安装有旋转箱(13)，所述旋转箱(13)顶端的中心位置处安装有载物台(14)。

5.根据权利要求4所述的一种物理气相沉积的升降机构，其特征在于：所述旋转箱(13)的内部安装有齿轮(27)，且齿轮(27)的外壁上安装有旋转架(28)，所述旋转架(28)一侧的旋转箱(13)内部设有两组齿条(26)。

6.根据权利要求5所述的一种物理气相沉积的升降机构，其特征在于：所述齿条(26)一侧的旋转箱(13)内部安装有电动杆(23)，所述电动杆(23)的外壁上安装有推杆(24)，所述推杆(24)的外壁上安装有转接架(25)。