[实用新型]一种静电设备与基板制造设备联动生产系统有效
| 申请号： | 202121576255.4 | 申请日： | 2021-07-12 |
| 公开（公告）号： | CN215181564U | 公开（公告）日： | 2021-12-14 |
| 发明（设计）人： | 李杰;钟少龙;杨华葛;张曼;彭杰;陈海雷 | 申请（专利权）人： | 信利（仁寿）高端显示科技有限公司 |
| 主分类号： | G05B19/418 | 分类号： | G05B19/418;H05F3/04 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人： | 刘爱珍 |
| 地址： | 620500 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种静电设备与基板制造设备联动生产系统，包括至少一基板制造设备、静电消除子系统、静电监控子系统和CIM主机，所述基板制造设备上预先设定有至少一静电位；所述静电消除系统用以消除所述静电位上基板的静电，所述静电监控子系统用以监控所述静电位上基板的带电量；所述CIM主机、静电监控子系统、静电消除子系统和各个基板制造设备均连接于同一局域网中。该联动生产系统将静电消除子系统、静电监控子系统以及各个基板制造设备形成联动。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 静电 设备 制造 联动 生产 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于信利（仁寿）高端显示科技有限公司，未经信利（仁寿）高端显示科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202121576255.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
