[实用新型]一种静电设备与基板制造设备联动生产系统

权利要求书

1.一种静电设备与基板制造设备联动生产系统，其特征在于，包括至少一基板制造设备、静电消除子系统、静电监控子系统和CIM主机，

所述基板制造设备上预先设定有至少一静电位；

所述静电消除系统用以消除所述静电位上基板的静电，所述静电监控子系统用以监控所述静电位上基板的带电量；

所述CIM主机、静电监控子系统、静电消除子系统和各个基板制造设备均连接于同一局域网中。

2.根据权利要求1所述的静电设备与基板制造设备联动生产系统，其特征在于，所述静电消除子系统包括至少一基板传感器和至少一静电消除器，所述静电监控子系统包括至少一静电传感器；所述基板传感器、静电消除器和静电传感器设置于对应的基板制造设备对应的静电位上，且沿基板输送方向依次设置。

3.根据权利要求2所述的静电设备与基板制造设备联动生产系统，其特征在于，所述静电监控子系统还包括通讯模块和第一服务器，所述静电传感器通过所述通讯模块与所述第一服务器连接，所述第一服务器与所述CIM主机之间通过局域网连接。

4.根据权利要求3所述的静电设备与基板制造设备联动生产系统，其特征在于，所述通讯模块为Lora通讯单元，基于Lora通讯协议向附近的信号采集器发送信号，一个信号采集器可同时采集八个静电传感器发送的信号，然后通过网线和交换机接入所述第一服务器。

5.根据权利要求3或4所述的静电设备与基板制造设备联动生产系统，其特征在于，所述静电监控子系统还包括报警模块，用于当所述静电传感器感测到的基板带电量超出预设阈值时进行报警。

6.根据权利要求2所述的静电设备与基板制造设备联动生产系统，其特征在于，所述静电消除器为软X射线静电消除器或等离子束静电消除器。

7.根据权利要求6所述的静电设备与基板制造设备联动生产系统，其特征在于，所述静电消除子系统还包括第一中继器、PLC模块、第二中继器、电磁阀、压缩空气源和第二服务器，所述基板传感器的输出端连接于所述第一中继器的输入端，所述第一中继器的输出端连接于所述PLC模块的输入端，所述PLC模块的输出端连接于所述第二中继器的输入端，所述第二中继器的输出端连接于所述电磁阀的控制端；所述压缩空气源和静电消除器则通过所述电磁阀相连通；所述PLC模块接入所述第二服务器所在的局域网，所述第二服务器与所述CIM主机之间通过局域网连接。

8.根据权利要求7所述的静电设备与基板制造设备联动生产系统，其特征在于，所述压缩空气源与所述电磁阀之间通过一气压控制阀或气压调节阀相连通。

9.根据权利要求8所述的静电设备与基板制造设备联动生产系统，其特征在于，所述静电消除器可采集自身运行数据；所述静电消除子系统还包括第三中继器，所述静电消除器的自采输出端通过所述第三中继器连接于所述PLC模块的第二输入端。

10.根据权利要求1所述的静电设备与基板制造设备联动生产系统，其特征在于，还包括与所述CIM主机连接的用户终端。