[实用新型]一种静电设备与基板制造设备联动生产系统

说明书

本实用新型公开了一种静电设备与基板制造设备联动生产系统，包括至少一基板制造设备、静电消除子系统、静电监控子系统和CIM主机，所述基板制造设备上预先设定有至少一静电位；所述静电消除系统用以消除所述静电位上基板的静电，所述静电监控子系统用以监控所述静电位上基板的带电量；所述CIM主机、静电监控子系统、静电消除子系统和各个基板制造设备均连接于同一局域网中。该联动生产系统将静电消除子系统、静电监控子系统以及各个基板制造设备形成联动。

技术领域

本实用新型涉及面板生产技术，尤其涉及一种静电设备与基板制造设备联动生产系统。

背景技术

近年来，ESD导致的产品不良一直是液晶面板行业影响良率的主要问题。为消除ESD，提高产品良率，各液晶面板厂势必会加装很多（Ion/X-Ray）静电消除器，但大量的静电消除器会让点检它们的状态变得异常困难（很多设备不停机无法检查静电消除器是否正常工作），且量大易漏检查，从而导致产品质量得不到保障，易出现批量质量事故，造成人力、物资成本浪费，同时很可能造成客户流失等严重问题。数以千计的静电消除器如果不能跟基板制造设备联动，浪费很多压缩空气，增加了成本。

同时，消除ESD的前提是要找到ESD异常工序，异常单元。目前液晶面板行业主要是通过分析GATE、ISLAND、SD、CONTANT、ITO等膜层确认ESD异常具体位置，从而制定消除ESD方案（生产线体都是封闭的，且ESD随时都在产生，测量要求的距离一般在25—100mm，生产中人工无法测）。这种分析方式是在已经出现ESD异常的前提下，此时必然已经造成成本浪费，后续的分析、解决也必然会人力、物力的浪费。

发明内容

为了解决上述现有技术的不足，本实用新型提供一种将静电消除子系统、静电监控子系统以及各个基板制造设备形成联动的联动生产系统。

本实用新型所要解决的技术问题通过以下技术方案予以实现：

一种静电设备与基板制造设备联动生产系统，包括至少一基板制造设备、静电消除子系统、静电监控子系统和CIM主机，

所述基板制造设备上预先设定有至少一静电位；

所述静电消除系统用以消除所述静电位上基板的静电，所述静电监控子系统用以监控所述静电位上基板的带电量；

所述CIM主机、静电监控子系统、静电消除子系统和各个基板制造设备均连接于同一局域网中。

进一步地，所述静电消除子系统包括至少一基板传感器和至少一静电消除器，所述静电监控子系统包括至少一静电传感器；所述基板传感器、静电消除器和静电传感器设置于对应的基板制造设备对应的静电位上，且沿基板输送方向依次设置。

进一步地，所述静电监控子系统还包括通讯模块和第一服务器，所述静电传感器通过所述通讯模块与所述第一服务器连接，所述第一服务器与所述CIM主机之间通过局域网连接。

进一步地，所述通讯单元为Lora通讯单元，基于Lora通讯协议向附近的信号采集器发送信号，一个信号采集器可同时采集八个静电传感器发送的信号，然后通过网线和交换机接入所述第一服务器。

进一步地，所述静电监控子系统还包括报警模块，用于当所述静电传感器感测到的基板带电量超出预设阈值时进行报警。

进一步地，所述静电消除器为软X射线静电消除器或等离子束静电消除器。

进一步地，所述静电消除子系统还包括第一中继器、PLC模块、第二中继器、电磁阀、压缩空气源和第二服务器，所述基板传感器的输出端连接于所述第一中继器的输入端，所述第一中继器的输出端连接于所述PLC模块的输入端，所述PLC模块的输出端连接于所述第二中继器的输入端，所述第二中继器的输出端连接于所述电磁阀的控制端；所述压缩空气源和静电消除器则通过所述电磁阀相连通；所述PLC模块接入所述第二服务器所在的局域网，所述第二服务器与所述CIM主机之间通过局域网连接。