[实用新型]一种半导体晶圆片的切割装置有效

专利信息
申请号: 202121553455.8 申请日: 2021-07-08
公开(公告)号: CN215150681U 公开(公告)日: 2021-12-14
发明(设计)人: 徐晶骥;董国斌;叶俊 申请(专利权)人: 上海东煦电子科技有限公司
主分类号: B28D5/02 分类号: B28D5/02;B28D7/04;B28D7/00;H01L21/304
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 200135 上海市浦东新区自*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 实用新型提供一种半导体晶圆片的切割装置;包括切割座,切割座的一侧通过螺栓安装有连接台,连接台内壁的两侧均通过螺栓安装有第一电机,第一电机的端部焊接有转动轮,两个转动轮的外部传动连接有转移带,转移带的一侧通过螺栓安装有切割台,切割台顶部的两侧均焊接有侧架,切割台的两侧外壁均焊接有稳定板,稳定板的顶部活动连接有电动伸缩杆,侧架的一侧通过转轴活动连接有按压板,本设计利用切割台与连接台,在电动伸缩杆将按压板推动后,半导体晶圆片能够稳定的按压在切割台上,防止了半导体晶圆片切割时的滑动,转动轮在转动后能够带动转移带移动,从而使切割台远离切割刀,避免手部的划割。
搜索关键词: 一种 半导体 晶圆片 切割 装置
【主权项】:
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