[实用新型]一种半导体晶圆片的切割装置有效

专利信息
申请号: 202121553455.8 申请日: 2021-07-08
公开(公告)号: CN215150681U 公开(公告)日: 2021-12-14
发明(设计)人: 徐晶骥;董国斌;叶俊 申请(专利权)人: 上海东煦电子科技有限公司
主分类号: B28D5/02 分类号: B28D5/02;B28D7/04;B28D7/00;H01L21/304
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地址: 200135 上海市浦东新区自*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 半导体 晶圆片 切割 装置
【说明书】:

本实用新型提供一种半导体晶圆片的切割装置;包括切割座,切割座的一侧通过螺栓安装有连接台,连接台内壁的两侧均通过螺栓安装有第一电机,第一电机的端部焊接有转动轮,两个转动轮的外部传动连接有转移带,转移带的一侧通过螺栓安装有切割台,切割台顶部的两侧均焊接有侧架,切割台的两侧外壁均焊接有稳定板,稳定板的顶部活动连接有电动伸缩杆,侧架的一侧通过转轴活动连接有按压板,本设计利用切割台与连接台,在电动伸缩杆将按压板推动后,半导体晶圆片能够稳定的按压在切割台上,防止了半导体晶圆片切割时的滑动,转动轮在转动后能够带动转移带移动,从而使切割台远离切割刀,避免手部的划割。

技术领域

本实用新型具体涉及半导体晶圆片技术领域,尤其是一种半导体晶圆片的切割装置。

背景技术

晶圆是制造半导体器件的基础性原材料,极高纯度的半导体经过拉晶和切片等工序制备成为晶圆,晶圆经过一系列半导体制造工艺形成极微小的电路结构,再经切割、封装和测试成为芯片,能够广泛的应用到各类电子设备当中。

半导体晶圆片在进行切割时,半导体晶圆片容易滑动,操作人员的手部容易触碰到切割刀上,造成手部的割伤,切割装置的切割位置固定不便灵活运用,且半导体晶圆片的厚度不一不便切割,因此亟需一种半导体晶圆片的切割装置来解决上述的问题。

发明内容

本实用新型的目的在于克服现有技术的不足,适应现实需要,提供一种结构设计新颖的半导体晶圆片的切割装置。

为了实现本实用新型的目的,本实用新型所采用的技术方案为:

一种半导体晶圆片的切割装置,包括切割座,所述切割座的一侧通过螺栓安装有连接台,所述连接台内壁的两侧均通过螺栓安装有第一电机,所述第一电机的端部焊接有转动轮,两个所述转动轮的外部传动连接有转移带,所述转移带的一侧通过螺栓安装有切割台,所述切割台顶部的两侧均焊接有侧架,所述切割台的两侧外壁均焊接有稳定板,所述稳定板的顶部活动连接有电动伸缩杆,所述侧架的一侧通过转轴活动连接有按压板,所述电动伸缩杆的顶部活动连接在按压板底部的一侧。

进一步的,所述切割座顶部的两侧均通过螺栓安装有液压缸,且两个液压缸的顶部之间固定安装有顶架,所述顶架的内壁一侧通过螺栓安装有驱动电机。

进一步的,所述驱动电机的端部焊接有转动件,所述顶架内壁的一侧焊接有限位板,所述限位板内部的一侧滑动连接有推移件。

进一步的,所述转动件的一端活动连接在推移件的一侧,所述推移件一侧的外壁通过螺栓安装有顶板。

进一步的,所述顶板的一侧通过螺栓安装有切割箱,所述切割箱顶部内壁的一侧通过螺栓安装有第二电机,所述第二电机的端部焊接有主动轮。

进一步的,所述切割箱顶部内壁的中间处活动连接有转动柱,所述转动柱的外壁上焊接有从动轮,且主动轮和从动轮的外部传动连接有皮带。

进一步的,所述从动轮底部的一侧通过螺栓安装有切割盒,所述切割盒的内壁一侧通过螺栓安装有马达,且马达的端部焊接有切割刀。

本实用新型的有益效果在于:

(1)本实用新型利用切割台与连接台,在电动伸缩杆将按压板推动后,半导体晶圆片能够稳定的按压在切割台上,防止了半导体晶圆片切割时的滑动,转动轮在转动后能够带动转移带移动,从而使切割台远离切割刀,避免手部的划割。

(2)本实用新型利用顶架与推移板,转动件受到驱动电机的带动,转动件能够将推移板推动,推移板活动在限位板中,能够将顶板的位置进行调整,切割刀可随着顶板而进行位置的改变,增强了装置的灵活性。

(3)本实用新型利用主动轮与转动柱,第二电机带动主动轮进行转动,主动轮通过皮带使从动轮进行转动,转动柱和从动轮便于切割刀的活动,从而使切割刀在半导体晶圆片的不同方位进行切割处理。

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