[实用新型]一种基板清洗输送装置有效
| 申请号： | 202121549022.5 | 申请日： | 2021-07-08 |
| 公开（公告）号： | CN214878415U | 公开（公告）日： | 2021-11-26 |
| 发明（设计）人： | 杨伟;张小林 | 申请（专利权）人： | 注能光学仪器科技（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | B65G47/90 | 分类号： | B65G47/90;B08B13/00 |
| 代理公司： | 成都君合集专利代理事务所(普通合伙) 51228 | 代理人： | 尹玉 |
| 地址： | 215627 江苏省苏州市张家*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种基板清洗输送装置，包括机架、基片吊装工装、桁架机械手，所述机架的左右两侧分别设置有出料位、进料位，所述机架的内部上方设置有二维运输机构，且内部下方设置有清洗机构，所述二维运输机构包括X轴运动机构、Z轴运动机构，所述X轴运动机构上设置有Z轴运动机构，所述Z轴运动机构上设置有桁架机械手，所述桁架机械手对应基片吊装工装设置有夹爪机构，所述基片吊装工装为镂空结构。本实用新型通过二维运输机构驱动桁架机械手将装有基板的基片吊装工装导入清洗机构中进行清洗，实现了自动化的进料、清洗、出料，有效提高了工作效率，同时保证了操作的安全性，具有较好的实用性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 清洗 输送 装置 | ||
【主权项】：
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