[实用新型]一种基板清洗输送装置

权利要求书

1.一种基板清洗输送装置，其特征在于，包括机架（11）、基片吊装工装（30）、桁架机械手（31），所述机架（11）的左右两侧分别设置有出料位（15）、进料位（14），所述机架（11）的内部上方设置有二维运输机构，且内部下方设置有清洗机构，所述二维运输机构包括X轴运动机构（33）、Z轴运动机构（34），所述X轴运动机构（33）上设置有Z轴运动机构（34），所述Z轴运动机构（34）上设置有桁架机械手（31），所述桁架机械手（31）对应基片吊装工装（30）设置有夹爪机构（32），所述基片吊装工装（30）为镂空结构。

2.根据权利要求1所述的一种基板清洗输送装置，其特征在于，所述基片吊装工装（30）包括镂空的架体（301）以及引导块（302）、接触导块（303），所述架体（301）内部设置有卡槽，且卡槽的一端设置有进出料口，所述进出料口的两端分别设置有引导块（302），所述卡槽的内部沿周向设置有若干个接触导块（303）。

3.根据权利要求2所述的一种基板清洗输送装置，其特征在于，所述卡槽的内部的两侧以及底侧分别沿长度方向设置有若干个接触导块（303）；所述架体（301）的底部两端分别设置有支撑垫块。

4.根据权利要求1所述的一种基板清洗输送装置，其特征在于，所述夹爪机构（32）包括夹爪气缸和夹爪手指，所述夹爪气缸的两侧分别设置有夹爪手指，所述夹爪手指的工作端设置有定位槽，所述基片吊装工装（30）对应设置有夹持定位端。

5.根据权利要求1-4任一项所述的一种基板清洗输送装置，其特征在于，所述X轴运动机构（33）包括滑动轨、同步带、伺服电机，所述机架（11）的内部上方的两侧分别沿X方向设置有滑动轨，所述Z轴运动机构（34）的两端分别与滑动轨滑动连接，所述伺服电机通过同步带驱动Z轴运动机构（34）沿X轴运动。

6.根据权利要求5所述的一种基板清洗输送装置，其特征在于，所述Z轴运动机构（34）包括升降架（341）、直线模组（342）、导轨，所述升降架（341）的两端分别与滑动轨滑动连接，所述升降架（341）上沿Z方向设置有直线模组（342），且直线模组（342）两侧的升降架（341）上分别设置有导轨，所述桁架机械手（31）与直线模组（342）连接，且桁架机械手（31）的两端分别与导轨滑动连接。

7.根据权利要求6所述的一种基板清洗输送装置，其特征在于，所述桁架机械手（31）包括安装架，所述安装架的一侧与直线模组（342）连接，且两端分别与导轨滑动连接；所述安装架的底部两端分别设置有夹爪机构（32）。