[实用新型]一种化学气相沉积炉用真空泵前端焦油收集装置有效
| 申请号： | 202121546617.5 | 申请日： | 2021-07-08 |
| 公开（公告）号： | CN215352584U | 公开（公告）日： | 2021-12-31 |
| 发明（设计）人： | 俞雄俊 | 申请（专利权）人： | 福建康碳复合材料科技有限公司;内蒙古康碳复合材料科技有限公司 |
| 主分类号： | B01D46/10 | 分类号： | B01D46/10 |
| 代理公司： | 上海新隆知识产权代理事务所(普通合伙) 31366 | 代理人： | 金利琴 |
| 地址： | 365000 福建省*** | 国省代码： | 福建;35 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开一种化学气相沉积炉用真空泵前端焦油收集装置，包括圆筒腔体、进气圆管、底盘、出气圆管，底盘密封固定在所述圆筒腔体下端，进气圆管从上端插进所述圆筒腔体一定长度后焊接固定，出气圆管从下端插进圆筒腔体一定长度后与底盘焊接固定。本实用新型结构简单，可减少泵油更换频次，降低生产成本，为真空泵日常维护提高效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 化学 沉积 真空泵 前端 焦油 收集 装置 | ||
【主权项】：
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