[实用新型]一种化学气相沉积炉用真空泵前端焦油收集装置有效
| 申请号： | 202121546617.5 | 申请日： | 2021-07-08 |
| 公开（公告）号： | CN215352584U | 公开（公告）日： | 2021-12-31 |
| 发明（设计）人： | 俞雄俊 | 申请（专利权）人： | 福建康碳复合材料科技有限公司;内蒙古康碳复合材料科技有限公司 |
| 主分类号： | B01D46/10 | 分类号： | B01D46/10 |
| 代理公司： | 上海新隆知识产权代理事务所(普通合伙) 31366 | 代理人： | 金利琴 |
| 地址： | 365000 福建省*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 化学 沉积 真空泵 前端 焦油 收集 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种化学气相沉积炉用真空泵前端焦油收集装置，其特征在于，包括圆筒腔体、进气圆管、底盘、出气圆管，所述底盘密封固定在所述圆筒腔体下端，所述进气圆管从上端插进所述圆筒腔体一定长度后焊接固定，所述出气圆管从下端插进所述圆筒腔体一定长度后与底盘焊接固定；所述进气圆管焊有圆形法兰凹凸台配合放置过滤网，与沉积炉尾气总管路端密封固定连接。
2.根据权利要求1所述的化学气相沉积炉用真空泵前端焦油收集装置，其特征在于，所述出气圆管焊有法兰盘，通过该法兰盘与真空泵体进气口端密封固定。
3.根据权利要求1所述的化学气相沉积炉用真空泵前端焦油收集装置，其特征在于，所述进气圆管和出气圆管分别在所述圆筒腔体内的深度为圆筒腔体高度的1/2～2/3。
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