[实用新型]一种化学气相沉积炉用真空泵前端焦油收集装置

说明书

本实用新型公开一种化学气相沉积炉用真空泵前端焦油收集装置，包括圆筒腔体、进气圆管、底盘、出气圆管，底盘密封固定在所述圆筒腔体下端，进气圆管从上端插进所述圆筒腔体一定长度后焊接固定，出气圆管从下端插进圆筒腔体一定长度后与底盘焊接固定。本实用新型结构简单，可减少泵油更换频次，降低生产成本，为真空泵日常维护提高效率。

技术领域

本实用新型涉及一种化学气相沉积炉用真空泵前端焦油收集装置。

背景技术

化学气相沉积炉在生产碳碳复合材料中制品的生产过程中，短链烃类气体作为沉积工艺使用的主要碳源气体，在一定的压力与温度下裂解最大化，裂解过程较复杂，裂解产生的小分子碳不断沉积，成为碳碳复合材料基体，短链烃在此过程中会发生断键重连等一系列化学反应，随之产生多种的沉积产物，其中大分子环烷烃类物质大量产生，随着其他气体产物被抽至沉积炉真空泵系统后端，随着温度降低，大分子环烷烃类物质凝结在管路系统及真空泵前端过滤网上，即为焦油，沉积过程中也产生碳黑颗粒等粉尘类物质，与焦油结合后形成混合物附着于滤网上，混合物具有一定流动性，能够顺着抽力向下流动，与泵油混合，真空泵体内部泵油主要作用是润滑、冷却、密封，若焦油过多，则真空泵无法正常工作，泵体卡死导致电机短路甚至发热着火，进而导致炉内压力失控沉积生产异常。如何在保证真空泵正常运转的前提下，防止焦油直接进入真空泵体，并能够简便的将其收集清理，提高生产效率，在工业化生产过程中更具有现实意义。

专利《焦油收集罐》(CN 206122265 U)所述用作焦油收集罐体体积有限，焦油收集能力有限，仅能用于真空度要求不高且简单的工业用炉体真空系统，其不能有效地阻止焦油气进入泵体，拆卸清理较为繁琐，拆卸之后密封性效果极有可能变差，故不适用于生产碳碳复合材料的化学气相沉积炉后端真空过滤系统。

实用新型内容

为解决以上现有技术存在的问题，本实用新型提出一种化学气相沉积炉用真空泵前端焦油收集装置。

本实用新型可通过以下技术方案予以实现：

一种化学气相沉积炉用真空泵前端焦油收集装置，包括圆筒腔体、进气圆管、底盘、出气圆管，所述底盘密封固定在所述圆筒腔体下端，所述进气圆管从上端插进所述圆筒腔体一定长度后焊接固定，所述出气圆管从下端插进所述圆筒腔体一定长度后与底盘焊接固定；所述进气圆管焊有圆形法兰凹凸台配合放置过滤网，与沉积炉尾气总管路端密封固定连接。

进一步地，所述出气圆管焊有法兰盘，通过该法兰盘与真空泵体进气口端密封固定。

进一步地，所述进气圆管和出气圆管分别在所述圆筒腔体内的深度为圆筒腔体高度的 1/2～2/3。

有益效果

本实用新型结构部件组成简单，装置使用简单方便，设备兼容性强，制造成本低，实用效果佳，减少泵油更换频次，降低生产成本，为真空泵日常维护提高效率。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型的剖视图。

图中：

1，进气圆管；

2，圆筒腔体；

3，底盘；

4，出气圆管；

5，过滤网。

具体实施方式

以下通过特定的具体实施例说明本实用新型的实施方式，本领域的技术人员可由本说明书所揭示的内容轻易地了解本实用新型的其他优点及功效。

如图1和2所示，本实用新型的一种化学气相沉积炉用真空泵前端焦油收集装置，该装置主要结构部件组成为：圆筒腔体2、进气圆管1、底盘3、出气圆管4，及橡胶密封圈5。