[实用新型]单晶硅坯件搬运机械手

摘要

本实用新型属于单晶硅加工技术领域，具体涉及单晶硅坯件搬运机械手，包括支撑板，所述支撑板上焊接有框架，所述框架上焊接有筒体，所述筒体内套接有气缸，所述框架上固定安装有气缸，所述气缸上设置有气缸杆，所述气缸杆上焊接有挡板，所述气缸杆的外侧滑动套接有滑套，所述滑套的外侧铰接有连杆，所述连杆的末端铰接吊杆，所述吊杆的末端焊接有斜块，所述支撑板内开设有滑槽，所述滑槽内滑动连接有吊杆，滑槽内固定连接有导杆，本实用新型通过在支撑板上粘接波纹套，在支撑板上设置气泵，波纹套和坯件接触时，气泵抽吸空气使得波纹套内形成负压，进而对坯件进行吸附，对坯件进行辅助支撑，使得坯件在搬运时更加稳定。