[实用新型]单晶硅坯件搬运机械手

权利要求书

1.单晶硅坯件搬运机械手，包括支撑板（1），其特征在于：所述支撑板（1）上焊接有框架（2），所述框架（2）上焊接有筒体（3），所述筒体（3）内套接有气缸（4），所述框架（2）上固定安装有气缸（4），所述气缸（4）上设置有气缸杆（5），所述气缸杆（5）和框架（2）滑动连接，所述气缸杆（5）上焊接有挡板（51），所述气缸杆（5）的外侧滑动套接有滑套（6），所述滑套（6）的外侧铰接有连杆（8），所述连杆（8）的末端铰接吊杆（9），所述吊杆（9）的末端焊接有斜块（91），所述支撑板（1）内开设有滑槽（10），所述滑槽（10）内滑动连接有吊杆（9），所述滑槽（10）内固定连接有导杆（11），所述导杆（11）的外侧设置有弹簧（13），所述支撑板（1）上固定安装有气泵（14），所述气泵（14）上设置有抽吸管（15），所述支撑板（1）内滑动套接有抽吸管（15），所述支撑板（1）上粘接有波纹套（17）。

2.根据权利要求1所述的单晶硅坯件搬运机械手，其特征在于：所述气缸杆（5）的外侧固定套接有限位板（7），所述限位板（7）和滑套（6）接触。

3.根据权利要求1所述的单晶硅坯件搬运机械手，其特征在于：所述连杆（8）有四个，四个所述连杆（8）均匀分布在滑套（6）的外侧。

4.根据权利要求1所述的单晶硅坯件搬运机械手，其特征在于：所述吊杆（9）上开设有导孔（12），所述导孔（12）内滑动套接有导杆（11）。

5.根据权利要求1所述的单晶硅坯件搬运机械手，其特征在于：所述弹簧（13）的一端和支撑板（1）接触，所述弹簧（13）的另一端和吊杆（9）接触。

6.根据权利要求1所述的单晶硅坯件搬运机械手，其特征在于：所述气泵（14）上粘接有防护罩（16），所述防护罩（16）为海绵材质。