[实用新型]显影设备

摘要

本实用新型公开一种显影设备，用来在包覆于一金属滚轮的外表面的一光阻层上进行显影。显影设备包括一滚轮固定装置、间隔地设置于滚轮固定装置的一浸润装置、承载浸润装置的一移动装置以及安装于滚轮固定装置的一摇摆装置。浸润装置用来容纳一显影剂。移动装置用来使滚轮固定装置与浸润装置相对地移动，以使浸润装置能用来将其所容纳的显影剂浸润于局部光阻层。摇摆装置用来选择性地以一摇摆速度摆动金属滚轮，使部分光阻层被显影剂浸润时，以摇摆速度摆动金属滚轮而令部分光阻层被显影剂均匀浸润，进而形成一图案化光阻层。滚轮显影设备仅需使用一个金属滚轮，即可完成数次滚轮显影测试，有效使测试成本下降。