[实用新型]显影设备

说明书

本实用新型公开一种显影设备，用来在包覆于一金属滚轮的外表面的一光阻层上进行显影。显影设备包括一滚轮固定装置、间隔地设置于滚轮固定装置的一浸润装置、承载浸润装置的一移动装置以及安装于滚轮固定装置的一摇摆装置。浸润装置用来容纳一显影剂。移动装置用来使滚轮固定装置与浸润装置相对地移动，以使浸润装置能用来将其所容纳的显影剂浸润于局部光阻层。摇摆装置用来选择性地以一摇摆速度摆动金属滚轮，使部分光阻层被显影剂浸润时，以摇摆速度摆动金属滚轮而令部分光阻层被显影剂均匀浸润，进而形成一图案化光阻层。滚轮显影设备仅需使用一个金属滚轮，即可完成数次滚轮显影测试，有效使测试成本下降。

技术领域

本实用新型涉及一种显影设备，特别是用于滚轮的一种显影设备。

背景技术

为提升显影大量滚轮时的良率，在进行正式的显影工艺前通常会执行一系列的滚轮显影测试，以尽可能地消除显影工艺上的缺失。然而，现有的滚轮显影设备在进行显影测试时，每次皆须耗费完整一根滚轮以进行测试，不仅使测试的成本提升，也消耗许多材料(如光阻液)。

因此，如何通过结构设计的改良，来克服上述的缺陷，已成为该项事业所欲解决的重要课题之一。

实用新型内容

本实用新型实施例在于提供一种显影设备，其能有效地改善现有显影设备所可能产生的缺陷。

本实用新型的其中一个实施例公开一种显影设备，用来在包覆于一金属滚轮的外表面的一光阻层上进行显影，所述显影设备包括：一滚轮固定装置，用来固定所述金属滚轮；一浸润装置，与所述滚轮固定装置间隔地设置，并且所述浸润装置用来容纳一显影剂；一移动装置，承载所述浸润装置，并且所述移动装置用来使所述滚轮固定装置与所述浸润装置相对地移动，以使所述浸润装置能用来将所述浸润装置所容纳的所述显影剂浸润于所述光阻层的局部；以及一摇摆装置，安装于所述滚轮固定装置，并且所述摇摆装置用来选择性地以一摇摆速度摆动所述金属滚轮；其中，所述摇摆装置能用来在所述光阻层的一部分被所述浸润装置中的所述显影剂浸润时，以所述摇摆速度摆动所述金属滚轮而使所述光阻层的一部分被所述显影剂均匀浸润，使所述光阻层的一部分溶于所述显影剂中，进而形成一图案化光阻层。

优选地，所述显影设备还包含一冲洗装置，与所述滚轮固定装置间隔地设置，并且所述冲洗装置用来在所述图案化光阻层离开所述浸润装置内的所述显影剂时，以水冲洗分布于所述图案化光阻层的所述显影剂。

优选地，所述浸润装置还包含一盖体，并且所述盖体位置临近于所述滚轮固定装置；其中，所述盖体用来在所述冲洗装置冲洗分布于所述图案化光阻层的所述显影剂时，阻挡使用过的水与使用过的所述显影剂回流到所述浸润装置中。

优选地，所述显影设备还包含一烘烤装置，所述烘烤装置与所述滚轮固定装置间隔地设置，并且所述烘烤装置能用来去除所述图案化光阻层中多余的溶剂。

优选地，所述烘烤装置为一红外线灯、一近红外线灯或一氙灯。

优选地，所述显影设备还包含一软烤装置，并且所述软烤装置位置邻近于所述烘烤装置；其中，所述软烤装置能用来烘烤所述光阻层，并使所述光阻层的溶剂含量降低。

优选地，所述滚轮固定装置包含一夹持机构，所述夹持机构安装于所述摇摆装置，并且所述夹持机构用来夹持所述金属滚轮；其中，当所述摇摆装置运作时，所述摇摆装置会转动所述夹持机构，使所述金属滚轮被所述夹持机构转动。

优选地，所述移动装置包含抵接于所述浸润装置的底部的一升降机构以及安装于所述升降机构的一支撑机构；其中，所述支撑机构用来支撑所述浸润装置的底部，而所述升降机构用来使所述浸润装置沿垂直于所述金属滚轮的轴心的一方向移动。

优选地，所述摇摆装置包含一速度控制机构，其能用来使所述金属滚轮以介于1转/分钟(RPM)至60转/分钟的所述摇摆速度摆动。