[实用新型]显影设备

权利要求书

1.一种显影设备，其特征在于，所述显影设备用来在包覆于一金属滚轮的外表面的一光阻层上进行显影，所述显影设备包括：

一滚轮固定装置，用来固定所述金属滚轮；

一浸润装置，与所述滚轮固定装置间隔地设置，并且所述浸润装置用来容纳一显影剂；

一移动装置，承载所述浸润装置，并且所述移动装置用来使所述滚轮固定装置与所述浸润装置相对地移动，以使所述浸润装置能用来将所述浸润装置所容纳的所述显影剂浸润于所述光阻层的局部；以及

一摇摆装置，安装于所述滚轮固定装置，并且所述摇摆装置用来选择性地以一摇摆速度摆动所述金属滚轮；其中，所述摇摆装置能用来在所述光阻层的一部分被所述浸润装置中的所述显影剂浸润时，以所述摇摆速度摆动所述金属滚轮而使所述光阻层的一部分被所述显影剂均匀浸润，使所述光阻层的一部分溶于所述显影剂中，进而形成一图案化光阻层。

2.根据权利要求1所述的显影设备，其特征在于，所述显影设备还包含一冲洗装置，与所述滚轮固定装置间隔地设置，并且所述冲洗装置用来在所述图案化光阻层离开所述浸润装置内的所述显影剂时，以水冲洗分布于所述图案化光阻层的所述显影剂。

3.根据权利要求2所述的显影设备，其特征在于，所述浸润装置还包含一盖体，并且所述盖体位置临近于所述滚轮固定装置；其中，所述盖体用来在所述冲洗装置冲洗分布于所述图案化光阻层的所述显影剂时，阻挡使用过的水与使用过的所述显影剂回流到所述浸润装置中。

4.根据权利要求1所述的显影设备，其特征在于，所述显影设备还包含一烘烤装置，所述烘烤装置与所述滚轮固定装置间隔地设置，并且所述烘烤装置能用来去除所述图案化光阻层中多余的溶剂。

5.根据权利要求4所述的显影设备，其特征在于，所述烘烤装置为一红外线灯、一近红外线灯或一氙灯。

6.根据权利要求4所述的显影设备，其特征在于，所述显影设备还包含一软烤装置，并且所述软烤装置位置邻近于所述烘烤装置；其中，所述软烤装置能用来烘烤所述光阻层，并使所述光阻层的溶剂含量降低。

7.根据权利要求1所述的显影设备，其特征在于，所述滚轮固定装置包含一夹持机构，所述夹持机构安装于所述摇摆装置，并且所述夹持机构用来夹持所述金属滚轮；其中，当所述摇摆装置运作时，所述摇摆装置会转动所述夹持机构，使所述金属滚轮被所述夹持机构转动。

8.根据权利要求1所述的显影设备，其特征在于，所述移动装置包含抵接于所述浸润装置的底部的一升降机构以及安装于所述升降机构的一支撑机构；其中，所述支撑机构用来支撑所述浸润装置的底部，而所述升降机构用来使所述浸润装置沿垂直于所述金属滚轮的轴心的一方向移动。

9.根据权利要求1所述的显影设备，其特征在于，所述摇摆装置包含一速度控制机构，所述速度控制机构能用来使所述金属滚轮以介于1转/分钟至60转/分钟的所述摇摆速度摆动。

10.根据权利要求1所述的显影设备，其特征在于，所述摇摆装置包含一速度控制机构，所述速度控制机构能用来使所述金属滚轮以介于1000转/分钟至4500转/分钟的一甩干速度转动。