[实用新型]一种芯片贴装设备压力校准治具有效

专利信息
申请号: 202121519601.5 申请日: 2021-07-06
公开(公告)号: CN215578455U 公开(公告)日: 2022-01-18
发明(设计)人: 邹丽丽;张彩;崔琳 申请(专利权)人: 大连藏龙光电子科技有限公司
主分类号: H01L21/60 分类号: H01L21/60;H01L21/67
代理公司: 大连瑞博晟知识产权代理有限公司 21259 代理人: 佟昆
地址: 116000 辽宁省*** 国省代码: 辽宁;21
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摘要: 实用新型涉及光通信技术领域,特别涉及一种芯片贴装设备压力校准治具。一种芯片贴装设备压力校准治具,包括下底板、传感器保护座和上底板,所述下底板、传感器保护座和上底板三部分形成可拆卸式连接结构,所述传感器保护座位于下底板和上底板之间,所述下底板上安装有压力传感器,且压力传感器位于传感器保护座内,所述上底板中部开设有与压力传感器相匹配的开口,所述压力传感器上部伸入到所述开口中且其上表面不高于开口上沿。本实用新型下底板、传感器保护座和上底板结合在一起,正好将压力传感器封装在里面,可以有效保护传感器在测试压力时不受除了待测压力之外的外力,提高测试准确度,能在贴装不同芯片切换时,对吸嘴压力进行有效校准。
搜索关键词: 一种 芯片 装设 压力 校准
【主权项】:
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