[实用新型]一种芯片贴装设备压力校准治具有效
申请号: | 202121519601.5 | 申请日: | 2021-07-06 |
公开(公告)号: | CN215578455U | 公开(公告)日: | 2022-01-18 |
发明(设计)人: | 邹丽丽;张彩;崔琳 | 申请(专利权)人: | 大连藏龙光电子科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/60 | 分类号: | H01L21/60;H01L21/67 |
代理公司: | 大连瑞博晟知识产权代理有限公司 21259 | 代理人: | 佟昆 |
地址: | 116000 辽宁省*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本实用新型涉及光通信技术领域,特别涉及一种芯片贴装设备压力校准治具。一种芯片贴装设备压力校准治具,包括下底板、传感器保护座和上底板,所述下底板、传感器保护座和上底板三部分形成可拆卸式连接结构,所述传感器保护座位于下底板和上底板之间,所述下底板上安装有压力传感器,且压力传感器位于传感器保护座内,所述上底板中部开设有与压力传感器相匹配的开口,所述压力传感器上部伸入到所述开口中且其上表面不高于开口上沿。本实用新型下底板、传感器保护座和上底板结合在一起,正好将压力传感器封装在里面,可以有效保护传感器在测试压力时不受除了待测压力之外的外力,提高测试准确度,能在贴装不同芯片切换时,对吸嘴压力进行有效校准。 | ||
搜索关键词: | 一种 芯片 装设 压力 校准 | ||
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造