[实用新型]一种用于晶片加工工艺的吸附垫有效

专利信息
申请号: 202121498676.X 申请日: 2021-07-02
公开(公告)号: CN215148003U 公开(公告)日: 2021-12-14
发明(设计)人: 贺越腾 申请(专利权)人: 天津微科光电科技有限公司
主分类号: B24B29/02 分类号: B24B29/02;B24B41/047;B24B41/06
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 300452 天津市滨海新区自贸易试*** 国省代码: 天津;12
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摘要: 实用新型涉及加工吸附垫技术领域,且公开了一种用于晶片加工工艺的吸附垫,所述加工转盘的底部装设有吸附垫主体,所述吸附垫主体的上层装设有粘附层,所述粘附层的顶部与加工转盘的底部相连接,所述粘附层的底部连接有磁力吸附层,所述磁力吸附层的底部连接有导流层,所述导流层的底部连接有抛光吸附层,所述吸附垫主体的左右两端的上部均固定装设有连接软管,所述连接软管的另一端均连接有装夹头,且加工转盘的顶部两侧均固定安装有装夹槽。该用于晶片加工工艺的吸附垫,通过在吸附垫主体内加设的磁力吸附层和导流层,提升了吸附垫的吸附能力,使得晶片加工时的质量提升,使得晶片的加工效率增加,减少了晶片的浪费和生产成本。
搜索关键词: 一种 用于 晶片 加工 工艺 吸附
【主权项】:
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