[实用新型]一种用于晶片加工工艺的吸附垫有效
申请号: | 202121498676.X | 申请日: | 2021-07-02 |
公开(公告)号: | CN215148003U | 公开(公告)日: | 2021-12-14 |
发明(设计)人: | 贺越腾 | 申请(专利权)人: | 天津微科光电科技有限公司 |
主分类号: | B24B29/02 | 分类号: | B24B29/02;B24B41/047;B24B41/06 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 300452 天津市滨海新区自贸易试*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | 本实用新型涉及加工吸附垫技术领域,且公开了一种用于晶片加工工艺的吸附垫,所述加工转盘的底部装设有吸附垫主体,所述吸附垫主体的上层装设有粘附层,所述粘附层的顶部与加工转盘的底部相连接,所述粘附层的底部连接有磁力吸附层,所述磁力吸附层的底部连接有导流层,所述导流层的底部连接有抛光吸附层,所述吸附垫主体的左右两端的上部均固定装设有连接软管,所述连接软管的另一端均连接有装夹头,且加工转盘的顶部两侧均固定安装有装夹槽。该用于晶片加工工艺的吸附垫,通过在吸附垫主体内加设的磁力吸附层和导流层,提升了吸附垫的吸附能力,使得晶片加工时的质量提升,使得晶片的加工效率增加,减少了晶片的浪费和生产成本。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 晶片 加工 工艺 吸附 | ||
【主权项】:
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