[实用新型]掩膜板及蒸镀装置有效
| 申请号： | 202121483845.2 | 申请日： | 2021-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN215163055U | 公开（公告）日： | 2021-12-14 |
| 发明（设计）人： | 齐英旭;卓林海;王亚;郭宏伟;田斌;于上智 | 申请（专利权）人： | 云谷（固安）科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京华进京联知识产权代理有限公司 11606 | 代理人： | 王倩 |
| 地址： | 065500 河*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本实用新型实施例中的技术方案，在掩膜板边框的第一表面设置开口，且所述开口延伸至第二表面形成通孔，并且在边框的第一表面还设置与所述开口连通的导流槽，对位掩膜条至少部分覆盖所述导流槽。通过在边框和对位掩膜条接触的部分设置所述导流槽，在清洗过程中边框与对位掩膜条的连接处的清洗残留液通过该导流槽将排出，避免其连接处的残留液堵塞，提高掩膜板和掩膜装置的清洗的效果，从而避免未清洗干净的掩膜板和掩膜装置对蒸镀操作的影响，从而可以提高OLED显示面板的品质，可以避免出现蒸镀过程中发生混色不良。 | ||
| 搜索关键词： | 掩膜板 装置 | ||
【主权项】：
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